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1、股权架构:国资入股,股权激励覆盖超9 成员工股权结构:多家知名投资机构入股,技术团队专业背景丰富。公司股东较为分散, 2020 年定增发行后(2021 年 7 月发行完毕),公司第一大股东上海创投持股比例为15.67%,目前无实际控制人,重要决策均属于各方共同参与决策。国资入股彰显长期信心,上海市国资委通过上海创投持有公司 15.67%股份,国家集成电路产业投资基金通过巽鑫投资持有公司 15.17%股份,国家集成电路产业投资基金二期参与公司定增并持有3.97%股份;国开行间接持有公司 1.97%股份;南昌智微、中微亚洲、GRENADE、 BOOTES 为公司员。
2、制程工艺的进步之下,刻蚀设备需求将极大增长。由于普遍使用的浸没式光刻机受到波长限制,用最先进的 EUV 深紫外光刻机也只能直接加工出 28 nm 的间距到 14 nm 的微观结构,14 nm 及以下的逻辑器件微观结构的加工将通过等离子体刻蚀和薄膜沉积的工艺组合多重模板法来实现。通过二重模板法,可以刻蚀出光刻尺度 1/2 的微观结构,而用四重模板法则可以将结构尺度进一步缩小到光刻尺度的 1/4。随着沉积和刻蚀步骤的增加,刻蚀设备和薄膜沉积设备有望正成为更关键且投资占比最高的设备。伴随逻辑芯片线宽的缩小,除了刻蚀设备用量增大以外,还。
3、国内刻蚀设备龙头,定增落地再攀高峰:中微公司主要产品覆盖 CCP 刻蚀、ICP 刻蚀、深硅刻蚀及 MOCVD 四大产品线,目前公司 CCP 设备已批量应用于境内外一线客户的集成电路加工制造生产线,并持续提升市场占有率,在部分客户市场占有率已进入前三位;ICP 设备已在 10 家客户的生产线上进行验证,已有超过 50 个工艺在客户的生产线上达到指标要求,且持续扩大应用验证范围。本次定增于 2021 年 7 月 2 日正式落地,共募集资金 82.07 亿元,发行价格为 102.29 元/股,发行股数约 8023 万股,发行对象最终确定为 20 家。大基金二期参与为公司提。
4、根据 2021 年 6 月 SEMI 全球晶圆厂预测报告,未来几年全球将新增 29 座晶圆厂,设备支出 预计将超过 1400 亿美元,其中中国大陆及中国台湾分别有 8 座晶圆厂新 建计划,位列全球第一。此外台积电、中芯国际等代工龙头 2021 年资本 开支显著提升。半导体设备投资快速放量,刻蚀设备作为晶圆设备投资中 占比最高的装备,产品种类多,市场被海外龙头垄断。以长江存储、华虹 无锡、 华力集成的招投标数据为例, 三家晶圆厂的刻蚀环节上国产化率 (以 机台数量计算)平均达到 2030%,国产化进程加速。中微的刻蚀设备种 类较为丰富,三家晶圆厂刻。
5、等离子体刻蚀设备为主要收入贡献来源。受益于近年半导体行业高景气度和公司产品竞争力的提升,随着公司的半导体设备产品线逐渐扩充并实现规模化销售,在 2020 年和 2021Q1 的设备收入结构中,刻蚀设备销售收入为 12.89/3.48 亿元,同比增长约 58.49%/63.75%,占专用设备收入的72.15%/72.35%;而 MOCVD 设备销售收入 4.96/1.33 亿元,同比变动约-34.47%/+76.85%,占专用设备收入的 27.85%/27.65%,其中,2020 年下滑为蓝光热退潮使得下游扩产速度放缓。收入结构中,刻蚀设备收入增长显著且为主要的业务来源。等离子体刻蚀技术国际领先,MOCV。
6、 2008 年,中微公司的设备进入台湾最大的半导体芯片厂台积电。Lam Research 公司于 2009 年 1 月向中国台湾知识产权法院提出诉讼,指控中微公司公司在一关键零部件的设计中侵犯了 Lam 公司的专利。台湾知识产权法院在经过半年的调查后宣布驳回 Lam 公司的诉讼,判断中微公司并没有侵犯 Lam 公司的专利。 2017 年 4 月,Veeco 在纽约东区的联邦法院对中微公司 MOCVD 设备的晶圆承载器 (即石墨盘) 供应商 SGL 展开了专利侵权诉讼, Veeco 认为,在SGL 为中微公司设计的石墨盘产品中侵犯了其专利, 要求禁止 SGL 向中微公司供货并赔偿巨额损失。
7、机械设备机械设备/专用设备专用设备 请务必参阅正文后面的信息披露和法律声明 1 / 21 中微公司中微公司(688012.SH) 2021 年 01 月 20 日 投资评级:投资评级:买入买入(上调上调) 日期2021/1/19 当前股价(元)174.00 一年最高最低(元)298.00/127.36 总市值(亿元)930.66 流通市值(亿元)427.00 总股本(亿股)5.35 流通股本(亿股)2.45 近 3 个月换手率(%) 130.15 股价走势图股价走势图 数据来源:贝格数据 半导体设备龙头,国产替代前景可期半导体设备龙头,国产替代前景可期 公司深度报告公司深度报告 公司竞争优势明显,国产替代需求紧迫。
8、 中微公司是国内唯一7nm/5nm 刻蚀技术设备商,MOCVD 设备市场份额全球领先。中微公司主要从事高端半导体设备的研发、生产和销售,包括半导体集成电路制造、先进封装、LED 生产、MEMS 制造以及其他微观工艺的高端设备等。公司的等离子体刻蚀设备已在国际一线客户从65nm 到14nm、7nm 和5nm 的集成电路加工制造及先进封装中有具体应用,其7nm/5nm 刻蚀技术为国内唯一。公司的MOCVD设备在行业领先客户的生产线上已大规模投入生产。公司已成为世界排名前列、国内占领先地位的LED 氮化镓基MOCVD 设备制造商。 刻蚀设备技术已达国际领先水平,大。
9、南微医学(688029.SH): 始于微创,平台型公司优势渐现 证券研究报告 报告发布日期报告发布日期:20202020年年8 8月月9 9日日 分析师分析师:孙媛媛(S0190515090001) 徐佳熹(S0190513080003) 医疗器械医疗器械 审慎增持审慎增持(维持维持) 2 投资要点 主营业务主营业务 公司主要从事内镜下诊疗相关耗材的研发、生产与销售;此外还有肿瘤消融耗材及设备,目前主要用于 肝癌治疗;另有内镜式光学相干断层扫描系统(EOCT)已获美国FDA批准,中国进入创新器械绿色通道。 后续公司还将进一步全面布局内镜诊疗相关设备及耗材,并有望向神经。
10、仅供机构投资者使用仅供机构投资者使用 证券研究报告证券研究报告 华西电子团队华西电子团队走进“芯”时代系列深度之三十二“中微公司”走进“芯”时代系列深度之三十二“中微公司” 孙远峰孙远峰/ /郑敏宏郑敏宏/ /张大印张大印/ /王海维王海维/ /王臣复王臣复/ /王秀钢王秀钢 SAC NO:S1120519080005SAC NO:S1120519080005、S1120519020001S1120519020001 20202020年年8 8月月3 3日日 请仔细请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明阅读在本报告尾部的重要法律声明 国内半导刻蚀巨头,迈内生国内半导刻蚀巨头,迈内生(3)中国台湾转移 至中。
11、机械设备机械设备/专用设备专用设备 1 / 17 中微公司中微公司(688012.SH) 2020 年 05 月 18 日 投资评级:投资评级:增持增持(首次首次) 日期 2020/5/15 当前股价(元) 210.15 一年最高最低(元) 233.77/60.08 总市值(亿元) 1,124.01 流通市值(亿元) 108.05 总股本(亿股) 5.35 流通股本(亿股) 0.51 近 3 个月换手率(%) 544.32 股价走势图股价走势图 数据来源:贝格数据 大国重器蓄势待发,国产替代正当逢时大国重器蓄势待发,国产替代正当逢时 公司首次覆盖报告公司首次覆盖报告 段小虎(分析师)段小虎(分析师) 李子卓(分析师)李子。
12、 机械设备机械设备 | 证券研究报告证券研究报告 首次评级首次评级 2020 年年 5 月月 4 日日 688012.SH 买入买入 原评级原评级: 未有评级未有评级 市场价格市场价格:人民币人民币 168.06 板块评级板块评级:未有评级未有评级 本报告要点本报告要点 介质刻蚀、介质刻蚀、CCP刻蚀、刻蚀、ICP刻蚀、量测刻蚀、量测. 股价表现股价表现 (24%) 14% 52% 91% 129% 167% May-19 Jun-19 Jul-19 Aug-19 Sep-19 Oct-19 Nov-19 Dec-19 Jan-20 Feb-20 Mar-20 Apr-20 中微公司上证综指 (%) 今年今年 至今至今 1 个月个月 3 个月个月 12 个月个月 绝对 61.8 。
13、 Table_StockInfo 2020 年年 05 月月 03 日日 证券研究报告证券研究报告公司研究报告公司研究报告 持有持有 (首次首次) 当前价: 168.06 元 中微公司(中微公司(688012) 机械设备机械设备 目标价: 元(6 个月) 高端半导体设备领军者,高端半导体设备领军者, 研发实力加速国产替代进程研发实力加速国产替代进程 投资要点投资要点 西南证券研究发展中心西南证券研究发展中心 分析师:倪正洋 执业证号:S1250520030001 电话:021-58352138 邮箱: 相对指数表现相对指数表现 数据来源:Wind 基础数据基础数据 总股本(亿股) 5.35 流通 A。
14、 1 证券研究报告证券研究报告 公司研究/首次覆盖 2020年02月11日 机械设备机械设备/专用设备专用设备 当前价格(元): 204.00 合理价格区间(元): - 章诚章诚 执业证书编号:S0570515020001 研究员 021-28972071 王林王林 执业证书编号:S0570518120002 研究员 李倩倩李倩倩 执业证书编号:S0570518090002 研究员 关东奇来关东奇来 执业证书编号:S0570519040003 研究员 021-28972081 黄波黄波 执业证书编号:S0570519090003 研究员 0755-82493570 时彧时彧 021-28972071 联系人 资料来源:Wind 潜力深远的潜力深远的半导体设备国产化先锋。
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更新时间:2026-03-19
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