万业企业-离子注入机经营拐点半导体平台化不断拓展-210906（22页）.pdf

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1、技术壁垒和集成度高。离子注入机所在行业具有技术、人才、资金、品牌壁垒，以技术为例，其涉及高压电子、机械、电气、计算机控制、等离子体物理等多个高技术学科，理论门槛较高，系统集成难度较大且需要充分考虑下游光伏、集成电路、AMOLED 等应用端客户的生产工艺路线和技术水平，是一套基于核心装备且跨产业、跨学科的整体解决方案;至于品牌则是由于半导体生产制造设备直接关系到下游产品的性能和良率，半导体设备厂家一般与下游客户长期合作，较少更替。另外离子注入机根据离子束电流和束流能量范围，一般可以把离子注入机分为低能大束流离子注入机、高能离子注入机和中低束离子注入机。目前，全球离子注入机仍以大束流离子注入机为主

2、，根据 Gartner 数据显示，大束流离子注入机占全部离子注入机市场份额的 61%，中低束流离子注入机及高能离子注入机分别占比 20%和 18%。半导体 CR(2)在 70%，且设备比较全面。离子注入机的品牌壁垒决定行业集中度高，根据 2018 年 8 月此前万业企业收购资产公告，目前全球第一大和第二大厂商美国应用材料公司和美国 Axcelis 公司分别占据50%/20%合计 70%份额，且美国应用材料和美国 Axcelis 公司是目前全球行业内唯一两家全方面发展了三种离子注入机的公司。国外离子注入机厂商侧重集成电路、国内离子注入机规模尚小。综合来看，目前市场上离子注入机主要由美国和日本的厂

3、商垄断，知名公司还有中国台湾 AIBT 汉辰科技、日本住友、日新公司、日本真空，VARIAN (瓦里安), SEN 和 Invetac 等，其中日新公司是 AMOLED 离子注入机市场垄断厂家，汉辰科技产品主要服务于台积电，而国内起步较晚，目前主要代表性的企业仅有凯世通和北京中科信电子装备两家：(1)凯世通研发的首台低能大束流离子注入机在国内一家 12 英寸主流集成电路芯片制造厂完成设备验证工作并确认销售收入;中电科电子装备自主研发的国内首台中束流离子注入机在中芯国际大生产线上稳定流片。(2)光伏竞争格局目前全球只有凯世通、美国 Intevac 公司、日本真空 3 家公司主要从事光伏离子注入机

4、的生产制造，凯世通的光伏离子注入机更被广泛应用，2018 年市场占有率全球第一;(3)面板竞争格局:离子注入机主要有日新垄断市场。三年布局半导体终放量，彰显半导体发展决心。凯世通成立于 2009 年 4 月，最早与世界排名第二的 Axcelis 合作离子注入等相关设备研发、生产、应用和服务为一体的高科技企业，主要产品为光伏离子注入机及配套设备，公司以陈炯博士为首的五位世界一流离子注入设备专家创立，多次承接国家和上海部课题，是中国第一个将离子注入机应用于光伏领域的企业。公司于 2018 年 7 月从新三板退市转让给主板万业企业。经过万业企业的整合，凯世通在 2021 年上半年首台低能大束流离子注

5、入机在国内一家 12 英寸主流芯片制造厂完成设备验证并确认销售收入，迎来经营拐点。拥有强大的创始人和技术团队。凯世通创始团队在创立凯世通之前均为IC 离子注入机领域的专家，公司管理团队由以陈炯博士为首的五位世界一流离子注入机专家组成。陈炯博士是国际离子注入技术协会终生常务理事，他曾以著者或合著者的身份发表论文 15 篇，拥有 16 项美国专利，其他四位创始人为杰弗里伯克尔博士，洪俊华博士，唐纳德贝里恩博士和陈维博士，公司被收购后，陈炯、洪俊华、JEFFREY SCOTT BOEKER将间接持有万业企业股份，另外核心技术团队还包括其他拥有离子注入机相关专利的技术人员。凯世通创始团队具备 IC 离

6、子注入机的专利和技术积累，研发和发展得到国家重大专项和政府的支持。作为国内仅有的 2 家从事离子注入机研发和产业化的公司，凯世通承担了打破国外垄断和提升半导体设备国产化率的使命，2019 凯世通的研发和发展得到了国家 02 专项和上海市政府的大力支持，其中国家 02 专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺的课题离子源研发及低能减速机构的设计，根据万业企业 2018 年 8月收购资产草案，凯世通的光伏离子注入机和 AMOLED 离子注入机均为中国首台套，FinFET 离子注入机