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1、中航科技电子团队2023年9月8日中航证券研究所发布 证券研究报告请务必阅读正文后的免责条款部分行业评级：增持光刻机深度：筚路蓝缕，寻光刻星火股市有风险 入市需谨慎分析师：刘牧野证券执业证书号：S0640522040001研究助理：刘一楠证券执业证书号：S0640122080006核心观点光刻为IC制造核心工艺，光刻技术的演进成就了摩尔定律。光刻工艺占IC制造1/2的时间+1/3的成本，在瑞利公式：=1/的指导下，人类在缩短波长，增大数值孔径NA，降低工艺因子1三个方面展开探索，目前已实现13.5nm波长与达物理极限的1，正在向0.55NA EUV迈步。为了实现进一步制程微缩，业界多采用多重曝

2、光工艺，但对光刻机的套刻精度、图形畸变、稳定性有更高的要求。10nm及以下时，ArFi+多重曝光的复杂度急剧上升，经济性下降，EUV的出现使摩尔定律得以延续。光刻机由三大核心系统，数万个零件组成，是产业链各环节顶尖公司通力合作的成果。1）光源方面，DUV采用准分子激光器，技术掌握在Cymer和Gigaphoton手中，国内科益虹源打破垄断；EUV光源是通过高功率CO2激光器轰击Sn滴而来，高功率激光器为核心组件。2）光学系统是光刻机分辨率成像的保证，由照明系统和物镜系统构成，照明系统优化成像过程，实现分辨率增强；投影物镜系统将掩模图形聚焦成像，ZEISS为ASML关键光学元件独供商，国内技术水

3、平仍有较大差距。3）双工件台系统有效提高了光刻精度与效率，国内华卓精科和清华大学团队走在前列。光刻重要性愈显，国内亟待01的突破。半导体行业十年翻倍，晶圆厂积极扩产，叠加芯片性能升级，光刻强度上升，预计5nm逻辑芯片的光刻支出占比达35%，光刻工艺的重要性愈发凸显，市场规模快速增长，预计2024年有望达230亿美元，ASML在高端市场一枝独秀。2022年中国大陆光刻机进口约40亿美元，主要从日本、荷兰进口，出口管制下光刻机存在断供隐忧，自主可控势在必行。依托举国之力，汇聚各科研院之所长，目前已有阶段性成果陆续落地。光刻机产业化渐近，零部件投资先行，我们测算国内零部件市场空间约150亿元，市场空

4、间大、技术关键性强。建议关注：1）光刻机零部件：福晶科技、奥普光电、茂莱光学、福光股份、炬光科技、腾景科技、苏大维格、华卓精科（未上市）等；2）光刻机周边配套：美埃科技、蓝英装备、芯源微、微导纳米等；3）光刻机相关材料：华懋科技、彤程新材、清溢光电、龙图光罩（未上市）等。风险提示：国产光刻机研发及落地不及预期；需求疲软，晶圆厂扩产不及预期；竞争加剧的风险；出口管制进一步加剧的风险。bUqRvMyRsRfY6MbP8OsQmMtRmPiNrRuNlOmNmN9PoOuNNZrMnOMYmQzQ全文思路光刻机行业深度：筚路蓝缕，寻光刻星火一、光刻技术演进1.1光刻为芯片制造的核心工艺，光刻机乃人类

5、智慧的集大成者1.2瑞利公式指导，、NA、1不断演进1.3多重曝光辅助实现制程微缩1.4全球光刻机发展史 二、光刻机构成2.1 光刻机结构总览2.2光源系统：从汞灯到准分子激光器到EUV光源2.3光学系统：高分辨率成像的保证2.3.1照明系统：优化成像过程，实现分辨率增强2.3.2 物镜系统：光刻机内的超精密光学之最2.4双工件台：精密运动，增质提效三、光刻产业趋势3.1产业大势：下游需求旺盛，芯片性能升级，光刻强度上升3.2他山之石：深度绑定上下游，打造ASML生态圈3.3国内现状：谋国产宏图，众院所齐发力，曙光初现四、建议关注4.1光刻机零部件技术关键性强、市场空间大、国产替代有望提速4.

6、2产业链标的梳理五、风险提示5.1风险提示国内光刻机产业链部分上市标的梳理资料来源：各公司公告，ifind，中航证券研究所（取2023年9月6日收盘价）代码公司名称产业链供应情况所属系统光刻机领域亮点当前市值（亿元）23年PE（一致）24年PE（一致）002222.SZ福晶科技（有望提供）精密光学元件、晶体光学系统中科院福建物构所控股，曾间接供应ASML。子公司“至期光子”聚焦纳米精度的超精密光学元件制造及复杂光机组件的研发131.35545002338.SZ奥普光电（有望提供）光栅编码器双工件台系统中科院长光所控股，国内高端光栅编码器龙头，布局超精尺，理论上可用于光刻机87.84331688