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1、请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告证券研究报告|20242024年年1212月月0505日日优于大市优于大市光刻机产业深度系列专题报告（一）光刻机产业深度系列专题报告（一）先进制程关键步骤，半导体设备明珠，先进制程关键步骤，半导体设备明珠，光刻机光刻机市场市场迎国产化机遇迎国产化机遇核心观点核心观点行业研究行业研究行业专题行业专题电子电子半导体半导体优于大市优于大市维持维持证券分析师：胡剑证券分析师：胡剑证券分析师：胡慧证券分析师：胡慧021-60893306021-S0980521080001S0980521080002证券分析师：叶子证券分析师：叶子证券分析师：张大为

2、证券分析师：张大为0755-81982153021-S0980522100003S0980524100002证券分析师：詹浏洋证券分析师：詹浏洋010-S0980524060001市场走势资料来源：Wind、国信证券经济研究所整理相关研究报告半导体三季报业绩综述：收入和归母净利润均同比增长，毛利率同环比提高 2024-11-10半导体 11 月投资策略：全球半导体销售额创季度新高，继续推荐细分龙头 2024-11-07半导体 10 月投资策略：8 月全球半导体销售额创历史新高，推荐细分龙头 2024-10-06CIS 行业专题：影像技术路线分化，国产龙头加速赶超 2024-09-24半导体行业

3、专题：先进封装超越摩尔定律，晶圆厂和封测厂齐发力 2024-09-19光刻是先进制程的关键步骤光刻是先进制程的关键步骤，半导体产业的基石半导体产业的基石。光刻是一种图像复制技术，在芯片制造过程中耗时最长，成本占比最高。作为先进制程的关键步骤，光刻分辨率决定了元件的最小特征尺寸与芯片的集成度。根据瑞利准则，可以通过缩短光源波长、增大数值孔径、减小光刻工艺因子提高光刻分辨率，进而提升芯片的性能。光刻技术作为半导体产业的基石，一般用工艺节点反应半导体行业发展水平，28nm 是工艺节点的重要分水岭，在性价比方面与下一代工艺有着较大差异。光刻机为半导体光刻机为半导体设备设备皇冠上的明珠皇冠上的明珠，光学

4、系统是其最重要的子系统之一光学系统是其最重要的子系统之一。光刻机作为所有半导体制造设备中难度最高、最难突破的一环，占晶圆生产设备总市场的24%。从UV到EUV，光刻机经历了五代发展和进化，每次光源的改进都显著提升了光刻机所能实现的最小工艺节点。根据前瞻研究院数据，光刻机由光源、曝光和双工作台三大核心系统组成，一台EUV光刻机内含有超10 万个精密零部件，全球供应商超过5000 家。其中光学系统最重要的子系统之一，约占整体光刻机成本的30%。全球全球光刻机千亿光刻机千亿人民币人民币市场规模且保持高速增长市场规模且保持高速增长。市场规模方面，2011年光刻机市场规模257 亿美元。根据Market

5、 Intelligence，预计2022-2028 年全球光刻机市场规模CAGR 有望达到6%。出货量方面，ASML、Nikon、Canon三大光刻机供应商占据了 99%以上市场份额，出货量稳步提升，2019-2023年CAGR 达16.75%。按供应商分类，ASML 出货量增长最为明显，近五年光刻机出货量CAGR 达18.33%。平均售价方面，EUV 光刻机单价增长明显，ASP 由2018 年的1.0亿欧元提升至2023年的1.7亿欧元，其余价格较为稳定。ASMLASML、NikonNikon、CanonCanon 三大光刻机供应商占据主要市场，三大光刻机供应商占据主要市场，ASMLASML

6、 为为行业行业龙头。龙头。光刻机行业属于寡头垄断格局，市场份额集中，ASML出货量市占率63%，营收市占率81%。在高端光刻机（EUV、ArFi、ArF）市场，ASML的出货量占据优势，市占率分别为100%/95%/87%。2006-2023 年，ASML总计投入研发费用245.48亿欧元，平均研发费用率达到15.5%。持续高强度的研发投入使ASML在高端光刻机领域构建起绝对领先的技术壁垒，市占率有望继续巩固。Nikon和Canon 则凭借价格优势占据中低端光刻机（KrF、i-line）市场。国产光刻机空间广阔国产光刻机空间广阔、任重道远任重道远。陆资晶圆代工厂产能持续扩张带动光刻机需求提升，