东莞证券2025年2月光伏设备报告深度分析了TOPCon电池技术产业化带来的核心工艺设备需求。TOPCon电池由PERC基础架构升级而来，核心新增工艺为硼扩散和隧穿氧化及掺杂多晶硅层制备（LPCVD/PECVD/PVD），对应的硼扩散设备和LPCVD设备成为本轮技术迭代中需求最旺盛的设备品类。拉普拉斯率先实现硼扩散设备规模化量产和光伏级大产能LPCVD量产，截至2024年6月末在手订单112.96亿元，其中TOPCon/XBC订单占约99%。

TOPCon电池片由PERC基础架构升级而来，核心差异在于两方面：一是衬底硅片由P型变为N型，需在衬底表面进行硼扩散制备P+发射极；二是背面由隧穿氧化及掺杂多晶硅层构成。硼扩散设备面临气态硼源在低压高温环境下的工艺难题，拉普拉斯率先攻克该技术瓶颈并实现规模化量产，成为推动N型TOPCon产业化的关键突破。隧穿氧化及掺杂多晶硅层的制备主要分为LPCVD、PECVD和PVD三种技术路线。LPCVD在技术成熟度和成膜质量（均匀性好、致密度高）方面具备优势，随着石英管寿命提升和双插工艺不断成熟，LPCVD已成为下游客户主流选择。

2023年TOPCon电池片市场占比约23%，CPIA预测2024年将快速提升至60%，一年内实现超1.5倍的增长。以TOPCon为主的新增产能建设及现有PERC产线升级改造形成双重需求驱动。从投资额来看，TOPCon产线设备投资额约1.5-2亿元/GW，较PERC（约1.2-1.5亿元/GW）有所提升，核心增量来自硼扩散、LPCVD/PECVD等新增设备。2024年全国电池片产量预计超820GW，若TOPCon占比达60%，对应约490GW的TOPCon产能设备需求，市场空间可观。

光伏电池片核心工艺设备具有较高的技术和产品壁垒。硼扩散设备领域，北方华创、拉普拉斯、捷佳伟创、红太阳光电等少数厂家具备批量供货能力。LPCVD设备领域，北方华创、拉普拉斯、红太阳光电、松煜等为主要厂商。拉普拉斯聚焦高效光伏电池片制造所需高性能热制程和镀膜设备，其硼扩散设备和LPCVD设备是TOPCon新增核心工艺的领先解决方案。截至2024年6月末，拉普拉斯在手订单销售价值112.96亿元，其中TOPCon、XBC订单占比约99%，公司业务储备良好，未来营收规模有望进一步提升。2024年前三季度拉普拉斯营收同比增长195.7%、归母净利润同比增长316.4%。

TOPCon核心工艺设备主要参与厂商

核心工艺设备	主要参与厂商	技术特点
硼扩散设备	拉普拉斯、北方华创、捷佳伟创、红太阳光电	气态硼源低压高温工艺，突破N型量产瓶颈
LPCVD设备	拉普拉斯、北方华创、红太阳光电、松煜	技术成熟、成膜质量高，主流技术路线
PECVD设备	捷佳伟创、红太阳光电、北方华创、微导纳米、拉普拉斯	管式PECVD为主，量产效率持续提升