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可燃气体分类

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可燃气体分类Tag内容描述：

1、品包括高纯氮气、高纯氢气等泛半导体行业工艺中作为载气使用的各种大宗气体。
电子气体的上游行业是气体分离及纯化设备制造业、基础化学原料行业、压力容器设备制造业等产业，下游主要用于泛半导体行业，如集成电路、半导体照明、功率器件、砷化镓太阳能电池、光纤等，与公司的 CAPEX 业务中电子工艺设备下游领域基本重合。
。

2、射层等 PECVD工艺需要用到 SiH4、NH3，蚀刻需要用到 CF薄膜太阳能电池在沉积透明导电膜工序中需要用到 B2H6等。
。

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