电子气体分类及公司部分电子气体产品示意-行业数据

电子气体业务包括电子特种气体业务和电子大宗气体业务。电子特种气体指用于半导体领域，对纯度、品种、性质有特殊要求的工业气体，按照下游用途分类，可以分为掺杂用气体、外延用气体、离子注入气和刻蚀用气体四大类。电子大宗气体指纯度要求低于 5N，产品产销量大的工业气体，根据制备方式的差异，可以分为空分气体和合成气体两部分。当前公司的电子特种气体产品包括砷烷、磷烷、硅烷和电子混合气等高纯气体，电子大宗气体产品包括高纯氮气、高纯氢气等泛半导体行业工艺中作为载气使用的各种大宗气体。电子气体的上游行业是气体分离及纯化设备制造业、基础化学原料行业、压力容器设备制造业等产业，下游主要用于泛半导体行业，如集成电路、半导体照明、功率器件、砷化镓太阳能电池、光纤等，与公司的 CAPEX 业务中电子工艺设备下游领域基本重合。