全球离子注入机细分占比-行业数据

低能大束流离子注入机技术含量最高，市场占比最大。离子注入工艺中，离子束的流量被称为离子束电流，电流越大，单位时间内注入的杂质原子数量也随之增大。大电流有助于提高硅片产量，是离子注入机的一大参数。另一重要参数是注入机的能量，能量越高意味着杂质原子穿入硅片越深，而能量越低，能耗越小，离子束的控制难度就越高。随着芯片制程的不断提升，市场对低能离子注入机需求不断增大。由此，市场上离子注入机按种类可分为低能