2022年半导体设备细分市场格局及国产替代空间现状分析报告（43页）.pdf

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1、2022 年深度行业分析研究报告 3 目录目录 中国大陆晶圆厂进展：行业扩产持续，中国大陆晶圆厂进展：行业扩产持续，2022H1 已披露完成设备招标已披露完成设备招标 478 台台.6 设备厂商中标更新：各厂商中标结果陆续释出，国产替代有望加快设备厂商中标更新：各厂商中标结果陆续释出，国产替代有望加快.10 设备国别比较：美日设备占比最高，国产占比呈显著上升趋势设备国别比较：美日设备占比最高，国产占比呈显著上升趋势.11 设备类型比较：薄膜沉积、过程控制、离子注入、涂胶显影等尚有较大替代空间设备类型比较：薄膜沉积、过程控制、离子注入、涂胶显影等尚有较大替代空间.17 1、刻蚀：国产化率 22%

2、，中微公司、北方华创、屹唐股份三强崛起.18 2、薄膜沉积：国产化率 5.7%，拓荆科技、北方华创、盛美上海为国产前三强.22 3、过程控制：国产化率 3.6%，中科飞测、精测半导体、睿励科学仪器国内领先.25 4、氧化扩散/热处理设备：国产化率 28%，北方华创优势较为明显.27 5、清洗：国产化率 38%，盛美上海中标设备数量国产最多，仅次于日本迪恩士.30 6、去胶：国产化率 74%，屹唐股份、盛美上海国产入围.34 7、化学机械抛光：国产化率 23%，华海清科为国内细分龙头.37 8、离子注入：国产化率 3.1%，烁科中科信国产获采购.40 9、涂胶显影：国产化率 1%，芯源微实现国产

3、零突破.42 10、光刻：国产化率 1.1%，阿斯麦绝对垄断，上海微实现国产零突破.43 4 插图目录插图目录 图 1：全球半导体设备市场规模.7 图 2：中国半导体设备市场规模及在全球市场占比.7 图 3：中国大陆半导体生产线分布图（2020 年 4 月）.8 图 4：长江存储近五年部分设备招标项目累计数量占比（按供应商总部国家/地区统计）.13 图 5：长江存储近五年历年部分设备招标项目数量占比（按供应商总部国家/地区统计）.13 图 6：华力集成近六年部分设备招标项目累计数量占比（按供应商总部国家/地区统计）.13 图 7：华力集成近六年历年部分设备招标项目数量占比（按供应商总部国家/地

4、区统计）.13 图 8：华虹无锡近四年部分设备招标项目累计数量占比（按供应商总部国家/地区统计）.14 图 9：华虹无锡近四年历年部分设备招标项目数量占比（按供应商总部国家/地区统计）.14 图 10：长江存储 20172022 年设备招标各厂商中标项目数量排名.15 图 11：华力集成 20162022 年设备招标各厂商中标项目数量排名.16 图 12：华虹无锡 20182022 年设备招标各厂商中标项目数量排名.16 图 13：晶圆厂半导体制造流程及相关半导体设备示意图.17 图 14：2021 年半导体设备各细分类型市场销售额占比.17 图 15：长江存储 20172022 设备招标刻蚀

5、设备各厂商中标数量合计.18 图 16：华力集成 20162022 设备招标刻蚀设备各厂商中标数量合计.20 图 17：华虹无锡 20182022 设备招标刻蚀设备各厂商中标数量合计.21 图 18：长江存储 20172022 设备招标薄膜沉积设备各厂商中标数量合计.22 图 19：华力集成 20162022 设备招标薄膜沉积设备各厂商中标数量合计.23 图 20：华虹无锡 20182022 设备招标薄膜沉积设备各厂商中标数量合计.24 图 21：长江存储 20172022 设备招标过程控制设备各厂商中标数量合计.25 图 22：华力集成 20162022 设备招标过程控制设备各厂商中标数量合

6、计.26 图 23：华虹无锡 20182022 设备招标过程控制设备各厂商中标数量合计.26 图 24：长江存储 20172022 设备招标氧化扩散/热处理设备各厂商中标数量合计.27 图 25：华力集成 20162022 设备招标氧化扩散/热处理设备各厂商中标数量合计.29 图 26：华虹无锡 20182022 设备招标氧化扩散/热处理设备各厂商中标数量合计.29 图 27：长江存储 20172022 设备招标清洗设备各厂商中标数量合计.31 图 28：华力集成 20162022 设备招标清洗设备各厂商中标数量合计.32 图 29：华虹无锡 20182022 设备招标清洗设备各厂商中标数量合