【研报】半导体行业深度报告：复盘ASML发展历程探寻本土光刻产业链投资机会-20200617[54页].pdf

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1、 Table_IndustryInfo 2020 年年 06 月月 17 日日 跟随大市跟随大市(维持维持) 证券研究报告证券研究报告行业研究行业研究机械设备机械设备 半导体行业深度报告半导体行业深度报告 复盘复盘 ASML 发展发展历程， 探寻本土光刻产业链投资机会历程， 探寻本土光刻产业链投资机会 投资要点投资要点 西南证券研究发展中心西南证券研究发展中心 分析师：倪正洋 执业证号：S1250520030001 电话：021-58352138 邮箱： 行业行业相对指数表现相对指数表现 数据来源：聚源数据 基础基础数据数据 Table_BaseData 股票家数 351 行业总市值（亿元）

2、23,193.70 流通市值（亿元） 22,512.37 行业市盈率 TTM 29.36 沪深 300 市盈率 TTM 12.4 相关相关研究研究 Table_Report 1. 机械行业周报 （6.8-6.12） ： 挖掘机销量 持续高增长， 国际原油市场逐渐恢复平 衡，重点推荐工程机械和油服板块 (2020-06-13) 2. 机械行业：下游景气持续，5 月挖机销 量大增 68% (2020-06-10) 3. 油服行业：OPEC+七月仍维持历史最 高强度减产规模、补偿未完成减产 (2020-06-07) 4. 机械行业周报（6.1-6.7） ：油价上涨利 好油服板块估值修复， 政策加码提

3、升新 能源行业景气 (2020-06-07) 5. 锂电设备行业专题报告：新的起点，群 雄逐鹿，全球争霸 (2020-06-03) 6. 机械行业周报（5.25-5.31） ：国际原油 大涨有望推动油服板块估值修复， 利好 不断看好锂电设备龙头率先反弹 (2020-05-31) 光刻机：芯片制造中最核心设备，复杂程度高，形成庞大产业链光刻机：芯片制造中最核心设备，复杂程度高，形成庞大产业链。光刻环节是 晶圆制造中最核心工艺，占晶圆制造耗时 40%-50%，占芯片成本 30%。作为 光刻工艺的核心设备， 光刻机结构复杂、 成本极高， 占晶圆制造设备投资 23%。 区别于其他晶圆制造设备，浸没式

4、DUV 和 EUV 光刻机可形成自身产业链，因因 此高端光刻机的突破需要物镜、光源、浸没式系统等核心组件和光刻胶、光刻此高端光刻机的突破需要物镜、光源、浸没式系统等核心组件和光刻胶、光刻 气、光罩、涂胶显影设备、检测设备等诸多配套设施的协同发展。气、光罩、涂胶显影设备、检测设备等诸多配套设施的协同发展。 ASML：浸没式系统和：浸没式系统和 EUV 光刻成为公司发展史上两大关键里程碑。光刻成为公司发展史上两大关键里程碑。ASML 垄断全球高端光刻市场，浸没式 DUV 全球市占率达 93%，EUV 全球市占率达 100%。2019 年，ASML 收入 132.4 亿美元，净利润 29.0 亿美元

5、，收入排名全 球半导体设备厂商第二。复盘其三十余年历史，浸没式工艺技术的突破和 EUV 产业链的贯通成为 ASML 打败尼康等日本厂商的两大关键性节点。 打通光刻产业链成为打通光刻产业链成为国产光刻机追逐国产光刻机追逐 ASML 的关键。的关键。ASML 有大约 5000 个供 应商，与产品直接相关的共 790 家，占 ASML 总开支的 66%，其中德国蔡司、 美国 Cymer 等厂商几乎垄断全球高端物镜、极紫外光源等技术。受瓦森纳协 议等国外技术管制影响，国产高端光刻机国产高端光刻机无法像无法像 ASML 一样通过全球合作、一样通过全球合作、 并购突破，并购突破，只能依托本土光刻组件和配套

6、设施产业链自主研发实现突破。只能依托本土光刻组件和配套设施产业链自主研发实现突破。 02 专项强化国内光刻产业链发展，高端光刻机突破在即：专项强化国内光刻产业链发展，高端光刻机突破在即：在“02 专项”的大 力支持下，国科精密、启尔机电、华卓精科纷纷在物镜、浸没式系统和双工作 台上通过 02 专项验收，福晶科技部分产品供货 ASML。配套设施方面，华特 气体、凯美特气实现光刻气突破，南大光电、晶瑞股份、雅克科技等纷纷布局 中高端光刻胶及辅材，清溢光电，菲利华打破光罩领域国外垄断，精测电子、 睿励科学、赛腾股份实现晶圆前道检测设备国产替代，芯源微涂胶显影设备入 驻长江存储、华力等先进晶圆厂。在国