国产半导体设备研究框架：光刻机、薄膜沉积、刻蚀机、清洗、氧化、离子注入、量测-220519（136页）.pdf

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1、分析师：陈杭登记编号：S1220519110008联系人：胡园园证券研究报告2022年5月19日【方正电子行业深度报告】国产半导体设备研究框架:光刻机、薄膜沉积、刻蚀机、清洗、氧化、离子注入、量测投资要点2n 逻辑/存储/功率/三代半扩产，资本支出继续维持高位。2022年往后，内资晶圆厂12吋潜在扩产产能至少155万片/月，支撑3-4年高景气周期。其中中芯国际临港、京城、深圳合计至少24万片/月，存储端合肥长鑫、长江存储各自二期22与20万片待扩，华虹拟回A上市，预计也将继续加码产能扩张。此外，叠加功率、三代半高需求，行业资本支出预计继续高位发展。n 供应链安全迫在眉睫，国产替代势在必行。全球

2、半导体设备市场美、日、欧垄断，中国大陆半导体设备综合自给率仍非常低。大国博弈背景下，保证产业供应链安全迫在眉睫；国产化推动下，国内设备厂商厚积薄发，产品验证与新机研发齐头并进，品线扩张与设备放量赋能长期高成长。n 扩产招标稳步推进，加大备货响应交付。中芯国际22Q1新增扩产2.8万片/月等效8吋，预计全年产能增量高于去年；华虹3万片扩产正陆续搬入设备，1-4月以来累积招标设备近125台；此外，积塔1-4月累积招标近161台；下游扩产招标稳步推进。设备公司端，上游零部件交期拉长压力下，2021年多继续采用2倍多超前采购策略，积极备货以满足交付需求，同时侧面印证公司在手订单充沛，放量信心充足。n

3、建议关注：北方华创、中微公司、盛美上海、拓荆科技、万业企业、芯源微、华峰测控、至纯科技、精测电子、长川科技、芯碁微装、光力科技n 风险提示：（1）下游扩产不及预期；（2）零部件短缺影响出货；（3）贸易争端风险。半导体设备供应格局2020年（亿美元）2025年（亿美元）CAGR(2020-2025)海外厂商国内厂商EUV4812621%ASML-DUV6854-4%ASML、尼康、佳能上海微电子刻蚀1371826%Lam、TEL、AMAT北方华创、中微公司、屹唐半导体PVD711099%应用材料、日本Evatec、日本Ulvac北方华创CVD48729%AMAT、Lam、TEL北方华创、沈阳拓荆

4、ALD103326%TEL、先晶半导体北方华创清洗49676%迪恩士、TEL、Lam北方华创、盛美半导体、至纯科技检测控制23349%泰瑞达、爱德万、东京电子科磊、应用材料、日本日立长川科技、华峰测控、上海睿励、上海微电子、上海精测CMP抛光23306%AMAT、Evatec华海清科离子注入23284%AMAT、Axcelies凯世通、中科信涂胶显影-TEL、迪恩士、苏斯微芯源微3产能扩张：3-4年扩产周期现有产能（2020年底）总规划产能155.4万片/月8英寸12英寸135万片/月38.9万片/月74万片/月潜在扩产95.3万片/月潜在扩产44.4万片/月21年新增21.2万片/月需求3-

5、4年需求2-3年2021年之后每年扩产25万片/月21年新增16.6万片/月每年扩产20万片/月45北方华创覆盖版图刻蚀清洗氧化沉积中微离子CMP涂胶显影拓荆盛美万业屹唐芯源量测华海华峰先进封装精测长川30%25%合计22%8153人生态级芯碁1048人13亿上微光刻23%员工研发4亿427人3亿869人3亿1亿388人1亿方正陈杭准平台级一单产品中后道设备wind、智东西、方正证券研究所整理国产半导体设备生态636人6营收YoY净利润YoY002371.SZ北方华创1312-28%14247%16.755%9.278.7688012.SH中微公司674-14%4545%10.87%15.06

6、2.3600641.SH万业企业157-51%1574%5.033%10.331.5688072.SH拓荆科技-U16683%1259%1.279%13.8135.4688082.SH盛美上海386-30%2661%4.257%14.892.5688037.SH芯源微100-30%1358%1.484%7.669.9603690.SH至纯科技111-28%3046%3.939%3.628.4688200.SH华峰测控224-28%1345%6.343%17.635.7300567.SZ精测电子101-50%2921%2.950%3.434.8300480.SZ光力科技56-39%11107%2