中国电子技术标准化研究院：2019版智能传感器型谱体系与发展战略白皮书（50页）.pdf

1、压力传感器压力传感器型谱体系见附录 B，根据工艺和工作原理不同分为MEMS压力传感器、陶瓷压力传感器、溅射薄膜压力传感器、微熔压力传感器、传统应变片压力传感器、蓝宝石压力传感器、压电压力传感器、光纤压力传感器和谐振压力传感器。1)MEMS技术MEMS 压力传感器量程一般在 1kPa100MPa 之间，具有小型化、可量产、易集成等优点，市场需求量最大、应用领域最广，是智能压力传感器的重要载体。MEMS压力传感器技术现在已较为成熟，基本可以分为压阻式和电容式两类，据推断该领域不会出现较大的技术突破，主要是渐进式的技术改进，像所有半导体产品一样，微型化是重要发展方向。典型应用主要包括汽车电子，如汽车

2、发动机系统、制动系统、燃油系统和后处理系统等，智能手机、无人机、可穿戴设备的高度计(气压计)，石油、电力、轨道交通工业过程控制和状态监测压力传感器，航空航天气流压力检测等。MEMS压力传感器市场分布及预测如图5所示。据Yole发布数据显示，全球 MEMS压力传感器市场将以每年3.8%的速度增长，到 2023年将达到20亿美元。汽车电子是 MEMS 压力传感器最大的应用市场，据估计国内每年需求量达到数亿只，其中动力传动系统应用占压力传感器总量的 50%以上，安全系统、胎压监测系统等也用到较多的压力传感器。当前在节能减排和自动驾驶的需求驱动下，压力传感器在汽车的燃油蒸发排放系统、柴油颗粒过滤器等用

3、量激增，这一市场需求在中国尤其强烈。由于智能手机和平板电脑的迅速普及，消费电子已成为压力传感器的第二大应用市场，据估计国内每年需求量也达到数亿只，但大多依赖进口，随着近些年 MEMS 压力传感器成本和功耗的降低，其在可穿戴设备、无人机和智能家居等领域需求迅速扩大。在医疗与工业市场，MEMS压力传感器保持中等的增长速度，但有一例外是新型医用智能吸入器(medical smart inhalers，介于医疗电子市场与消费电子市场之间)，为未来医疗消费物联网应用的发展铺平了道路。航空电子与高端应用虽然是小众市场，但得益于动态飞行器(the dynamic aircraft) 与MEMS技术的大力发展，目前也显示出较快的增长速度。