2021年帝尔激光公司HJT优势与光伏激光设备市场规模分析报告（29页）.pdf

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1、TOPCon 可在原有工艺基础上改造而来，设备投资经济性明显。根据 CPIA历史数据显示，大部分国内现有 PERC 产能自 2018 年起陆续投产，折旧期约为3-5 年，现有 PERC 产能中，约 60%可改造为 TOPCon 产线，仅需要在原有设备投资的基础上新增 30%-50%的投资，因此将 PERC 改造成 TOPCon 是拉长设备应用周期的较优选择。此外，考虑现有 PERC 量产转化效率约为 22%-23%，而 TOPCon 技术理论转化效率达 28%，当前实验室最高效率突破 25%，最高量提升可大大降低度电成本。原理上，TOPCon 增加了硼掺杂工艺，然后通过PECVD 技术在前后表

2、面制备钝化层和减反膜，此后经过隧道结制备、离子注入、退火清洗等工艺，超薄氧化层可以使多子电子隧穿进入多晶硅层同时阻挡少子空穴复合，电子在多晶硅层横向传输被金属收集，金属接触复合电流被大幅降低，提升了电池的开路电压和短路电流。TOPCon 在现有 PERC 设备基础上增加LPCVD、激光硼掺杂、以及绕镀清洗等设备即可完成技术升级。激光硼掺杂为 TOPCon 中重要工艺。各电池厂商在 TOPCon 阶段路线设计不同，目前布局 TOPCon的厂家包括：隆基、晶科、中来、天合、晶澳、东方日升、林洋、通威、LG、REC 等头部电池厂商。通过对部分电池厂商 TOPCon 技术路线的梳理，激光硼掺杂依然为

3、TOPCon阶段的主要工艺制程。考虑激光硼掺杂单一环节设备投资基本与 PERC 阶段激光设备投资相匹敌，若 TOPCon 中除激光硼掺杂以外，再叠加其他诸如激光转印、修复等设备，则 TOPCon激光设备单 GW 投资有望超越 PERC 设备。HJT 为全新技术路线，国内认证转化效率已超过 25%。晶体硅异质结太阳电池（HJT）是在晶体硅上沉积非晶硅薄膜，综合了晶体硅电池与薄膜电池的优势，实现了晶硅/非晶硅界面态的有效钝化。因此 HJT 可以实现比 PERC 更高的光电转换效率和双面率，更低光致衰减、低温度系数和无 PID 现象（组件性能衰减）等优点。日本三洋公司在 1990 年研发了 HJT

4、电池，2010 年核心专利过期后，多家公司开始专注于 HJT 技术的研发和产业化。2016 年 Kaneka 沿用 IBCHJT 技术，转换效率达到 26.6%。2019-2020 年国内晋能科技、通威股份、钧石能源、华晟新能源、金刚玻璃、明阳智能等多家企业纷纷宣布进行 HJT 电池的研发和扩产。HJT 目前单 GW 设备投资显著高于 TOPCon 与 HJT，未来降本空间较大。HJT 工艺主要包括制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO 薄膜沉积和金属化四个步骤，其关键技术在非晶硅薄膜沉积环节，制备出的本征非晶硅层 i-a-Si 厚度进一步降低，有效抑制晶硅的表面负荷，开路电压有效提高，甚至可达 750mV。另外，电池工艺在 200以下的环境方可进行，从而减少了因高温导致的硅片热损伤。由于 HJT 电池与 PERC 生产步骤及技术不同，其生产线无法在 PERC 线上改造。根据迈为股份公告显示，目前 HJT 设备单 GW 投资在 4 亿元以上，显著高于 PERC 和 TOPCon，其中 PECVD 设备（非晶硅薄膜沉积）投资占比达 50%以上，但作为全新工艺，HJT 尚未进行大规模量产，设备投资下降空间较大。