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1、 1/47 2024 年年 4 月月 15 日日 行业行业|深度深度|研究报告研究报告 行业研究报告 慧博智能投研 MEMS行业行业深度：深度：竞争格局竞争格局、应用领域应用领域、市市场空间、场空间、未来趋势未来趋势及及相关公司相关公司深度梳理深度梳理 MEMS，即微机电系统，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。MEMS 应用范围广阔，消费电子、汽车、工业是 MEMS 行业最大的三个细分市场，市场规模较为可观。围绕 MEMS，下面我们从其基本概念入手，了解其特点、主要产品，并对该行

2、业发展历程及当前竞争格局进行分析，对其行业主要产品 MEMS 传感器进行解读、产业链进行梳理，对其主要应用领域及市场空间进行分析，对未来发展趋势进行展望，方便读者深入了解这一行业。目录目录 一、概述.1 二、发展历程及竞争格局.2 三、应用领域及市场空间.4 四、MEMS 传感器及产业链梳理.13 五、相关公司.27 六、未来发展趋势.44 七、参考研报.47 一、概述一、概述 1.MEMS MEMS 全称 Micro-Electro Mechanical System，即微机电系统，是一种微制造技术。微机电系统是集微型传感器、执行器、机械结构、电源能源、信号处理、控制电路、高性能电子集成器件

3、、接口、通信等集于一块或多块芯片上的微型器件或系统。2.特点特点 MEMS 具有小尺寸、低功耗、高集成度和多功能的特点。其通过微纳加工技术，将机械结构和电子元件集成在微米至纳米尺度的芯片上。它结合了微电子技术、微纳加工技术和机械工程原理。3.主要产品主要产品 MEMS 产品主要可分为 MEMS 传感器和 MEMS 执行器。其中 MEMS 传感器是用于探测和检测物理、化学、生物等现象和信号的器件，而 MEMS 执行器是用于实现机械运动、力和扭矩等行为的器件。2/47 2024 年年 4 月月 15 日日 行业行业|深度深度|研究报告研究报告 MEMS 传感器有多重分类方法，按工作原理可分为三类:

4、物理型、化学型和生物型；按信号检测方式分为：电容式、电阻式和隧道电流式；按照 MEMS 技术领域分类分为:惯性、压力、声学、环境和光学等；或者按应用场景主要分为：消费电子、汽车电子、工业与通信、医疗健康和国防与航空等。MEMS 执行器主要可分为光学 MEMS、微流控、射频 MEMS、微结构、微型扬声器和超声指纹识别等。二、发展历程及竞争格局二、发展历程及竞争格局 1.发展历程发展历程 MEMS 技术被誉为 21 世纪具有革命性的高新技术之一，经过数十年的发展，已广泛应用于消费电子、汽车、工业与通信、医疗健康、高可靠等领域。从发展历程看，MEMS 起源可追溯至 20 世纪 50 年代，硅的压阻效

5、应被发现后，学者们开始了对硅传感器的研究；20 世纪 70 年代末-90 年代，安全气囊、制动压力、轮胎压力检测系统等应用需求增长推动了 MEMS 行业发展的第一次浪潮，压力传感器和加速度计取得快速发展；20 世纪 90 年代末-21 世纪初，信息技术的兴起和微光学器件的需求推动了 MEMS 行业发展的第二次浪潮，MEMS 惯性传感器与MEMS 执行器取得共同发展，1991 年，电容式微加速度计开始被研制，1998 年美国 Draper 实验室研制出了较早的 MEMS 陀螺仪，1994 年德州仪器以光学 MEMS 微镜为基础推岀投影仪，21 世纪初MEMS 喷墨打印头出现；2010 年至今，产

6、品应用场景的日益丰富推动了 MEMS 行业发展的第三次浪潮，如高性能的 MEMS 陀螺仪在工业仪器、航空、机器人等多方面得到应用。MEMS 商业化将 MEMS 技术从最早的汽车应用领域向航空、工业和消费电子等领域不断扩展。3/47 2024 年年 4 月月 15 日日 行业行业|深度深度|研究报告研究报告 2.竞争格局竞争格局 MEMS 技术壁垒高，市场长期由少数海外巨头企业主导，2020 年全球前十大 MEMS 厂商占比达到57.94%，市场较为分散。其中博世以 14.2%的份额占比位列第一，其次为博通和威讯联合，占比分别为9.8%和 5.6%，而国产厂商歌尔微以 3.9%的市场份额位列第六