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1、1证券研究报告作者：行业评级：上次评级：行业报告|请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明专用设备专用设备强于大市强于大市维持2024年03月04日（评级）分析师 朱晔SAC执业证书编号：S1110522080001分析师 张钰莹 SAC执业证书编号：S1110523080002半导体射频电源专题：激荡频波，驭势而行！半导体射频电源专题：激荡频波，驭势而行！行业专题研究摘要2请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明射频电源：高技术壁垒核心零部件射频电源：高技术壁垒核心零部件射频电源是可以产生300KHz-300MHz频率的高频交流电源，虽然射频的频段很宽，但半导体设备用的射频电源工作频率一般处于

2、2MHz 至 60MHz 之间。核心技术难点在于参数稳定性、控制精度与阻抗匹配。随着技术的不断发展，市场将逐渐向高频、高功率、小型化和能效方向发展。射频电源应用：射频电源应用：1）半导体：刻蚀、薄膜沉积、干法清洗、离子注入等。2）光伏：PECVD、RPD等。3）面板：TFT阵列、CELL成盒制作等。半导体射频电源市场：国外头部企业垄断半导体射频电源市场：国外头部企业垄断、市场集中度较高市场集中度较高2022年全球半导体射频电源市场销售额达到了7.26亿美元，预计2029年将达到14.57亿美元，年复合增长率（CAGR）为11.18%（2023-2029）。中国市场（含中国台湾地区）2022年市

3、场规模为96.6百万美元，约占全球的13.31%。2022年，全球第一梯队厂商主要有万机仪器、美国优仪（AE）、日本大阪变压器株式会社，占有大约52.95%的市场份额。海外半导体射频电源公司如何发展：海外半导体射频电源公司如何发展：MKS：向半导体行业提供环形等离子体源的领导者，面向FinFET开发自适应脉冲技术，以一致的脉冲提供射频功率。AE：拥有更稳定的eVerest系列射频等离子体发生器、更快更准的Navigator II系列射频匹配网络，专有算法PowerInsight应对匹配网络生命周期的不确定性。深耕全射频传输系统，为多种工艺提供不同产品匹配方案。DAIHEN：1986年开始生产半

4、导体制造设备用的射频发生器，使用内部等离子体评估室进行技术开发（如脉冲输出和频率调谐）、产品性能评估以及功能改进。相关标的：相关标的：英杰电气、爱科赛博、北方华创等。风险提示风险提示：技术与产品研发风险、市场开拓风险、需求波动风险等。文中所提爱科赛博业绩预告数据仅为初步核算数据，准确的财务数据以公司正式披露的年报为准。VY2VZZAYPYEYUW6M8Q9PsQqQoMsOkPoOnOfQpPqO7NqRnNNZnOnQNZqRvM射频电源：射频电源：高技术壁垒核心零部件高技术壁垒核心零部件13请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明 电源：电源：给电气或电子设备提供电力的装置，主要作用是将电网

5、、发电机、电池等发出的一次电能转换为可供用电设备使用的二次电能。电源按输出类型可分为直流电源和交流电源，而交流电源按照频率大小可以分为中频电源、射频电源、微波电源。射频电源：射频电源：可以产生300KHz-300MHz频率的高频交流电源，虽然射频的频段很宽，但半导体设备用的射频电源工作频率一般处于 2MHz 至 60MHz 之间。射频电源应用领域射频电源应用领域：射频电源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蚀、去胶、PVD、干法清洗等设备中，起到激发等离子体、选择刻蚀方向等作用。LED与太阳能光伏行业、科学研究、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域也有应用。资料来

6、源：合肥协同半导体产业研究院公众号，中科英智公众号，天风证券研究所41 1.1.1 射频电源（射频电源（RFRF PowerPower SupplySupply）：高技术壁垒核心零部件：高技术壁垒核心零部件图：射频电源应用场景图：射频电源应用场景 射频电源分类：射频电源分类：根据采用的功率放大器类型不同，可分为电子管射频电源与晶体管射频电源电子管射频电源与晶体管射频电源（又称为全固态射频电源又称为全固态射频电源）。电子管射频电源：电子管射频电源：电子管本身存在很多问题，包括体积大，在某些精密领域限制了应用；寿命不足晶体管射频电源的一半；制造工艺复杂。因此随着晶体管的发展，电子管逐渐被淘汰。晶体