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1、半导体前道量检测设备行业报告：半导体前道量检测设备行业报告：重点产品持续突破，国产替代正在加速重点产品持续突破，国产替代正在加速评级：推荐(首次覆盖)证券研究报告2024年01月18日专用设备姚健(证券分析师)杜先康(证券分析师)S0350522030001S请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明2沪深300表现表现1M3M12M专用设备-5.5%-4.5%-9.1%沪深300-3.4%-11.3%-22.0%最近一年走势相关报告半导体设备行业动态研究：半导体零部件国产化加速，关注细分赛道领跑者（推荐）*专用设备*姚健，杜先康2023-12-24-23%-16%-10%-3%3%10%202

2、3/01/182023/04/182023/07/172023/10/152024/01/13专用设备沪深300请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明3重点关注公司及盈利预测重点关注公司及盈利预测重点公司代码股票名称2024/01/18EPSPE投资评级股价20222023E2024E20222023E2024E300567.SZ精测电子65.450.981.081.6766.7960.6839.24未评级688361.SH中科飞测-U65.860.050.300.491317.20216.01135.21未评级688012.SH中微公司139.311.902.683.1573.3251.9

3、744.21未评级688003.SH天准科技32.100.781.081.4141.1529.7922.80未评级603283.SH赛腾股份66.661.612.393.0741.4027.8821.69未评级资料来源：Wind资讯，国海证券研究所 未评级公司盈利预测取自wind一致预期请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明4核心提要核心提要u半导体量检测设备市场空间广阔半导体量检测设备市场空间广阔半导体行业需求回暖叠加中国大陆晶圆厂持续扩产，国内半导体设备市场长期有望稳健增长。质量控制贯穿晶圆制造全过程，是芯片生产良率的关键保障，先进制程将对工艺控制水平提出更高要求，量检测设备价值量有望倍

4、增。我们测算，2023/2024/2025/2026年全球半导体量检测设备市场空间分别为105/120/138/145亿美元，CAGR达11.5%，中国大陆半导体量检测设备市场空间分别为35/41/48/51亿美元，CAGR达12.8%。u多系统组合有望成为检测技术方向多系统组合有望成为检测技术方向我们测算，2022年全球光学/电子束/X光检测设备市场份额分别为74.2%/19.7%/2.2%，光学检测速度快、无接触，然而先进节点检测灵敏度有限；电子束检测精度较高，然而速率较慢、设备成本较高；随着芯片材料和结构复杂性持续提升，多系统组合有望成为检测技术方向。u近年量检测设备国产替代正在加速近年

5、量检测设备国产替代正在加速据VLSI Research、QYResearch，2020年全球半导体量检测设备行业CR5达82%，KLA历经多次并购，产品种类齐全，2020年KLA量检测设备全球市占率达51%；ASML将量检测设备与EUV系统配套，电子束检测设备竞争优势显著，据the information network，2022年ASLM电子束检测设备全球市占率达50%。目前量检测设备国产化率较低，本土主要供应商包括上海精测、中科飞测和睿励仪器，2018-2022年三家公司国内市场份额合计0.67%/0.60%/2.11%/2.38%/3.17%，地缘因素影响下，量检测设备国产替代正在加速。

6、u关注本土设备商新品突破及订单进展关注本土设备商新品突破及订单进展半导体量检测设备空间广阔，国产替代正在加速，建议关注精测电子、中科飞测、中微公司、赛腾股份、天准科技。1）精测电子：立足面板检测主业，半导体产品持续完善，明场检测设备进展领先；2）中科飞测：聚焦量检测设备近十年，纳米图形晶圆缺陷检测、关键尺寸量测等设备加速研发；3）中微公司：多次增资睿励仪器，量检测收入持续增长；4）赛腾股份：收购日本Optima，布局晶圆检测设备；5）天准科技：加速布局半导体领域，首台明场检测设备已交付客户试用。首次覆盖，给予半导体前道量检测设备行业“推荐”评级。u风险提示风险提示：半导体行业景气度复苏不及预期