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1、证券研究报告|行业深度|机械设备 1/29 请务必阅读正文之后的免责条款部分 机械设备 报告日期：2023 年 12 月 18 日 半导体半导体射频电源：射频电源：刻蚀刻蚀+CVD 设备的设备的核心核心，国产化替代国产化替代拐点拐点已已至至 半导体设备半导体设备行业深度报告行业深度报告 投资要点投资要点 射频电源：射频电源：半导体半导体工艺控制的工艺控制的核心核心，应用于，应用于 CVDCVD 薄膜沉积薄膜沉积、刻蚀等、刻蚀等核心环节核心环节 1)1)什么是射频电源？什么是射频电源？用来产生射频电功率的电源。核心作用核心作用通过产生高频电磁场，将在低压或常压下的气体进行电离、形成等离子体。形成

2、等离子体。从而在腔体内部实现不同的工艺需求。2)2)下游应用下游应用在哪？在哪？半导体薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗等前道工艺机台半导体薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗等前道工艺机台的关键零部件之一的关键零部件之一，与工艺直接相关，与工艺直接相关。射频电源的应用直接关系到腔体中的等离子体浓度、均匀度和稳定度，影响到终端晶圆刻蚀、成膜的质量。3)3)为什么值得关注？此前受制于为什么值得关注？此前受制于下游对下游对半导体核心零部件替换意愿弱、且对半导体核心零部件替换意愿弱、且对性价比不敏感等因素，国产替代诉求较弱性价比不敏感等因素，国产替代诉求较弱。2022 年 10 月美国出台的“半导体制造”最终

3、用途限制措施，进一步限制国内半导体的发展，射频电源射频电源已成为“卡脖子”环节之一，国产替代需求紧迫。已成为“卡脖子”环节之一，国产替代需求紧迫。行业行业趋势趋势：全球全球/国内国内 27270 0/7/70 0 亿亿元元市场市场，国产化率极低、未来，国产化率极低、未来 2 2 年将提速年将提速 1)1)市场空间：市场空间：受益于新增扩产新增扩产+存量替换存量替换市场需求，我们测算：预计 2025 年全球半导体射频电源市场空间有望达 27270 0 亿元，国内市场空间达亿元，国内市场空间达 7 70 0 亿元。亿元。未来随着半导体资本开支的上行、市场空间有望持续打开未来随着半导体资本开支的上行

4、、市场空间有望持续打开。2)2)竞争格局竞争格局：全球射频电源主要被全球射频电源主要被 2 2 家家美系厂商美系厂商寡头寡头垄断。垄断。2022 年美国 MKS和 AE 合计市占率达 87%，其余日德企业占据少量份额，国产化率极低。在半导体“卡脖子”背景下、国内厂商英杰电气、恒运昌、北方微电子与下游设备厂共同成长，在射频电源产品供应方面已实现批量订单突破。在射频电源产品供应方面已实现批量订单突破。3)3)行业趋势：行业趋势：我们认为行业我们认为行业将将受益于受益于海外供应瓶颈海外供应瓶颈+库存消耗周期因素库存消耗周期因素+半导体资本开支提速的半导体资本开支提速的 3 3 重因素叠加重因素叠加，

5、半导体射频电源国产替代进程有望进入加速期。预计半导体射频电源的国产替代趋势有望在未来 1-2 年内加速推进、实现全面国产替代。海内外海内外产业链重点公司产业链重点公司：预计国产半导体射频电源公司将迎加速突破拐点：预计国产半导体射频电源公司将迎加速突破拐点 海外海外主要企业：主要企业：1)1)美国美国 MKSMKS：全球半导体射频电源龙头，覆盖半导体/电子封装/特殊工业领域 2)2)美国美国 A AE E：半导体射频电源龙头，覆盖半导体/工业/医疗/数据/通讯多领域 3)3)美国美国 ComdelComdel：并购 XP Power，完善电源产品生态 4)4)日本日本 DAIHENDAIHEN：

6、焊接机器人龙头，延伸布局等离子射频电源领域 5)5)德国德国 TRUMPFTRUMPF 霍廷格：霍廷格：光伏射频电源龙头，半导体射频电源加速布局 国内主要企业：国内主要企业：1)1)英杰电气：英杰电气：半导体射频电源订单加速突破、迈向泛半导体核心零部件龙头 2)2)恒运昌：恒运昌：半导体射频电源领军者，在拓荆 PECVD 设备已实现批量供货 3)3)北方微电子北方微电子：收购射频电源资产，与半导体设备业务相协同 投资建议投资建议 重点推荐：重点推荐：英杰电气英杰电气（半导体电源龙头）、北方华创北方华创（半导体设备国产替代领军者）、中微公司中微公司（半导体刻蚀设备龙头）；拓荆科技拓荆科技（薄膜沉