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1、 请务必仔细阅读正文之后的各项信息披露与声明 电子 2026 年 06 月 04 日 中科仪(920186)唯一全工艺覆盖干式真空泵“小巨人”，同步存储扩产国产替代空间广阔 报告原因：首次覆盖 增持（首次评级）投资要点：中科院体系真空装备“小巨人”，半导体干泵放量驱动业绩高增。公司主营干式真空泵和真空科学仪器设备，是国内唯一在集成电路先进制程及清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产干泵企业，2023 年获评国家级专精特新“小巨人”。公司业绩持续高增，25 年营收/归母/扣非净利润分别为 12.91/8.44/1.03 亿元，YoY+19.30%/+337.77%/+17.19%，其中归母净利

2、润高增主要系公司持有拓荆科技、中科信息股权，投资收益及公允价值变动高增。受益于国内晶圆厂扩产、半导体设备国产替代加速及核心零部件自主可控需求提升，公司 25 年集成电路领域真空泵收入为 7.62 亿元，YoY+14.90%，已成为公司核心增长极。AI 算力驱动半导体真空泵市场快速扩容，高端干泵国产替代空间广阔。干式真空泵是半导体制造前道核心基础设备，覆盖晶圆传输、刻蚀、薄膜沉积、离子注入等关键制程，集成电路制造主要工艺中约 70%需要使用。受 AI 算力及存储升级需求拉动，国内晶圆厂及存储厂有望进入新一轮扩产周期，带动用泵数量提升；先进制程推进及 NAND/DRAM 工艺升级提升苛刻工艺占比，

3、推动单线价值提升。根据“新增扩产+存量替换”双轮模型测算，我们预计 26/27E 国内半导体干式真空泵价格为 11.00/11.05 万元，中国半导体真空泵市场规模分别为 63.4/74.3亿元。当前全球半导体真空泵市场 CR5 市占率达 78.4%，Edwards、Ebara、Kashiyama、Pfeiffer 等国际厂商仍占主导。公司作为目前国内极少数真正跨越前道“苛刻工况”深水区的稀缺标的，也是唯一在先进制程实现批量应用的国产企业，24 年在国内半导体领域市占率稳步升至 12.72%，且已实现清洁、中等、苛刻工艺全覆盖，部分产品关键指标与国际竞争对手处于同一水平，有望在国产替代加速背景

4、下持续提升份额。绑定头部客户打开订单空间，维保后市场贡献长期增量。公司深度导入长江存储、长鑫存储等头部晶圆厂、设备厂及泛半导体客户，并通过台积电、SK 海力士等国际客户测试验证。半导体干泵验证周期长、工艺适配要求高，进入核心产线后客户粘性较强。随着核心客户进入新一轮产能扩张和工艺升级周期，干式真空泵需求有望持续提升，公司凭借既有导入基础和国产供应链优势，有望通过募投项目产能释放承接增量订单。同时，随着累计装机量提升，维修、维护及零部件更换需求有望持续增长；相较海外厂商，公司在本地化服务响应、备件供应周期和维保成本方面具备优势，维保后市场长坡厚雪，有望成为公司新增长极。首次覆盖，给予“增持”评级

5、。公司是国内唯一在半导体先进制程及清洁、中等、苛刻工艺实现批量应用的干式真空泵稀缺标的，AI 浪潮下存储及先进制程产能高速扩张，干式真空泵作为覆盖 70%工艺的关键部件，公司深度绑定长鑫、长存等国内巨头，随着下游客户国产化率持续提高，叠加维保市场长坡厚雪稳增长，我们预计 2026-2028 年公司营收分别为16.83/23.67/29.65 亿元，对应当前收盘价（6 月 3 日）PS 为 11.97/8.51/6.80 倍，归母净利润（不考虑交易性金融资产公允价值变动影响）分别为 2.33/2.60/2.99 亿元，对应当前收盘价（6 月 3 日）PE 为 87/77/67 倍，扣非归母净利润

6、分别为 1.33/1.96/2.44 亿元。2026 年可比公司平均 PS 为 14.92 倍，平均 PE 为 99 倍，首次覆盖给予公司“增持”评级。风险提示：1）市场竞争加剧风险；2）持有上市公司股份股价波动风险；3）下游客户扩产不及预期风险。市场数据：2026 年 06 月 03 日 收盘价（元）90.01 一年内最高/最低（元）127.00/60.00 市净率 7.6 股息率%（分红/股价）-流通 A 股市值（百万元）8,599 上证指数/深证成指 4,083.97/15,704.71 注：“股息率”以最近一年已公布分红计算 基础数据:2026 年 03 月 31 日 每股净资产（元）