2023年含氟半导体化学品行业格局及市场前景分析报告.pdf

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1、2 0 2 3 年深度行业分析研究报告RUhVjWVYgUiXoNpMpN6MaOaQmOpPpNoNeRpPrNkPoMrObRmNnNNZmNqMvPrQwP电子特气：行业壁垒颇高，国产替代加速1.21.2国产替代+新需求放量拉动电子特气需求1.31.3目录目录主要含氟电子特气产品行业格局梳理1.41.4电子气体及电子特气行业发展概况1.11.1含氟特种气体行业格局梳理含氟特种气体行业格局梳理1 1全球电子特气行业竞争格局1.51.5相关上市公司简介相关上市公司简介4 4氟化液市场前景梳理氟化液市场前景梳理3 3氟化液浸没式冷却液技术3.23.2氟化液：重要的半导体清洗剂/冷却液3.13.

2、1电子级氢氟酸行业格局梳理2.12.1含氟湿电子化学品行业格局梳理含氟湿电子化学品行业格局梳理2 2氟化液是理想的冷却液3.33.3含氟特种气体行业格局梳理1目录目录电子气体及电子特气行业发展概况1.1目录目录电子气体：工业气体“塔尖”产品，半导体材料的“粮食”电子气体：工业气体“塔尖”产品，半导体材料的“粮食”图：电子气体产业链图：电子气体产业链 电子气体被称为半导体材料的电子气体被称为半导体材料的“粮食粮食”，包包括电子特种气体和电子大宗气体括电子特种气体和电子大宗气体。电子特种气体(简称电子特气)，是指用于半导体、显示面板及其它电子产品生产的特种气体。在整个半导体行业生产过程中，从芯片生

3、长到最后器件的封装，几乎每一个环节都离不开电子特气，所用气体的品种多、质量要求高。电子大宗气体主要指满足半导体领域要求的高纯度和超高纯度大宗气体，包括氮气、氧气、氩气和压缩空气等，在半导体制程中用量大且覆盖85%以上环节的应用，主要用作环境气、保护气等。电子气体在集成电路生产中主要用于蚀刻和电子气体在集成电路生产中主要用于蚀刻和掺杂掺杂，是集成电路制造的血液是集成电路制造的血液。集成电路中用于刻蚀和掺杂的电子气体比例最高，分别占比36%和34%，一方面电子气体是当前刻蚀环节中的主要刻蚀剂；另一方面电子气体作为主要掺杂剂，在掺杂环节中为其提供掺杂元素。资料来源：派瑞特气招股说明书，国信证券经济研

4、究所整理国家政策大力鼓励电子气体产业的发展国家政策大力鼓励电子气体产业的发展 电子气体电子气体作为新材料领域的关键性材料之一作为新材料领域的关键性材料之一，近年来得到国家政策的大力支持近年来得到国家政策的大力支持。近年来，国家发改委、科技部、工信部、财政部等多部门相继出台“十三五”国家战略新兴产业发展规划、新材料产业指南等指导性文件，均明确提及并部署了工业气体产业的发展，并且对于电子气体确立了其新材料产业属性，有力推动了工业气体产业的发展。资料来源：国家发改委、科技部、工信部、财政部等官网，国信证券经济研究所整理图图：近年国家发布工业气体相关政策：近年国家发布工业气体相关政策发布时间政策名称主

5、要内容2009国家火炬计划优先发展技术领域将“专用气体”列入优先发展的“新材料及应用领域”中的电子信息材料2012电子基础材料和关键元器件“十二五”规划将起高纯度氨气等外延材料、高纯电子气体和试剂等列入重点发展任务2012新型显示科技发展“十二五”专顶规划提出开发高纯特种气体材料等，提高有机发光显示产品上游配套材料国产化率2013产业结构调整指导目录（2011年版）将电子气等新型精细化学品的开发与生产列入“第一类鼓励类”产业2016国家重点支持的高新技术领域目录在“四、新材料”之“（五）精细和专用化品之2、电子化学品制备及应用技术学中明确指出包括特种（电子）气体的制备及应用技术”2016“十三

6、五”国家战略新兴产业发展规划优化新材料产业化及应用环境，提高新材料应用水平，推进新材料融入高端制造供应链，到2020年力争使若干新材料品种进入全球供应链，重大关键材料自给率达到70%以上2017战略性新兴产业重点产品和服务指导目录在1.3.5关键电子材料中包括超高纯度气体等外延材料”2017新材料产业发展指南在重点任务中提出加快高纯特种电子气体研发及产业化，解决极大规模集成电路材料制约”2017重点新材料首批次应用示范指导目录（2017年版）在“先进基础材料”之“三先进化工材料”之“（四）电子化工新材料”之“20特种气体”中将特种气体明确列示，主要应用于集成电路、新型显示2018战略性新兴产业