【东吴证券】机械设备行业跟踪周报：看好高景气的半导体设备&光模块设备；推荐回调较多&宇树上市强催化的人形机器人-260329（23页）.pdf

1、证券研究报告行业跟踪周报机械设备 东吴证券研究所东吴证券研究所 1/23 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 机械设备行业跟踪周报 看好高景气的半导体设备看好高景气的半导体设备&光模块设备；推光模块设备；推荐回调较多荐回调较多&宇树上市强催化的人形机器人宇树上市强催化的人形机器人 2026 年年 03 月月 29 日日 证券分析师证券分析师 周尔双周尔双 执业证书：S0600515110002 021-60199784 证券分析师证券分析师 李文意李文意 执业证书：S0600524080005 证券分析师证券分析师 韦译捷韦译捷 执业证书：S06005240800

2、06 证券分析师证券分析师 钱尧天钱尧天 执业证书：S0600524120015 证券分析师证券分析师 黄瑞黄瑞 执业证书：S0600525070004 研究助理研究助理 陶泽陶泽 执业证书：S0600125080004 行业走势行业走势 相关研究相关研究 机械设备：2026 年机械设备出海三大机会中国对外投资增速快+欧美本身敞口大+技术出海全球共赢 2026-01-15 光伏设备行业深度：太空算力中心具备颠覆性优势，HJT 或为能源系统最优解 2026-01-05 增持（维持）Table_Tag Table_Summary 1.推荐组合：北方华创、三一重工、中微公司、恒立液压、中集集团、拓荆

3、科技、海天国际、柏楚电子、晶盛机电、杰瑞股份、浙江鼎力、杭叉集团、先导智能、长川科技、华测检测、安徽合力、精测电子、纽威股份、芯源微、绿的谐波、海天精工、杭可科技、伊之密、新莱应材、高测股份、纽威数控、华中数控。2.投资要点：【半导体设备】【半导体设备】SEMICON 期间多家公司推出新品，看好设备商平台化布局加速期间多家公司推出新品，看好设备商平台化布局加速 2026 年 3 月 25-27 日 SEMICON 展会期间多家龙头设备商推出重磅新品与技术升级方案。北方华创推出了全新一代 12 英寸 NMC612H 电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备、12 英寸 Qomola HPD30 混合键

4、合设备、高深宽比 TSV 电镀（ECP）设备 Ausip T830等，其中 12 英寸 NMC612H 电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备将 ICP 小尺寸刻蚀的深宽比提升到数百比一，均匀性带入埃米级，华创还推出了 12 英寸 Qomola HPD30 混合键合设备，是国内率先完成 D2W 混合键合设备客户端工艺验证的厂商。中微公司推出新一代电感耦合 ICP 等离子体刻蚀设备、高选择性刻蚀机、智能射频匹配器以及蓝绿光 Micro LED 量产 MOCVD 设备等，拓展刻蚀设备、薄膜沉积设备及核心智能零部件领域的产品组合；拓荆科技推出了专为解决键合界面空洞问题而设计的精准修复设备、低介电薄膜设备

5、 PECVD、PEALD 原子层沉积设备 VS 300 Astra-s SiN 等高端装备。重点推荐平台化设备商【北方华创】【中微公司】，低国产化率环节设备商【芯源微】【中科飞测】【精测电子】，薄膜沉积设备商【拓荆科技】【微导纳米】，后道封测【华峰测控】【长川科技】【迈为股份】。【光通信设备】【光通信设备】AI 发展带动光模块需求爆发，看好设备商充分受益于技术迭代发展带动光模块需求爆发，看好设备商充分受益于技术迭代&海外海外扩产带动的设备需求扩产带动的设备需求 AI 算力驱动光模块代际升级，设备需求进入高景气周期。AI 训练与推理集群规模持续扩大，光模块速率由 400G 全面迈向 800G 并

6、加速向 1.6T 升级，出货结构向高端规格快速倾斜。高速率产品对贴片精度、耦合稳定性、测试带宽与一致性要求显著提升，推动设备向高精度、高自动化、高一致性方向升级，设备迎来量价齐升。我们判断跟随技术升级需求快速放量海外扩产三大发展趋势，光模块领域引入自动化设备为必然趋势。1）技术升级：光模块升级迭代人工组装的耦合精度和检测准确率逐步难以满足要求，使用自动化设备组装和 AOI 设备检测为大势所趋。2）需求快速放量：伴随算力需求持续上升，2026 年对光模块需求已上修至千万级别，通过人工扩产速度逐步难以满足如此高的产能需求。3）海外产能建设：考虑到海外劳动力素质与稳定性问题，自动化设备需求更加迫切。