【江海证券】通用设备行业：真空泵：下游行业需求不断提升+国产替代，行业增长动能将持续增强-260324（28页）.pdf

1、通用设备行业真空泵：下游行业需求不断提升+国产替代，行业增长动能将持续增强投资要点：相关研究报告制造行业及科学研究领域核心通用装备。真空泵是一类利用机械、物理、化学或物理化学方法对被抽容器进行抽气，以达成真空状态的器件或设备。作为真空获得设备的主要类型，真空泵的核心功能是获得、优化和（或）维持真空环境；其技术的核心在于建立低于大气压力的物理环境，并为在此环境下开展的工艺制作、物理测量及科学试验等活动提供技术支撑。因此，其被广泛应用于化工、食品、家电、光伏、光学、锂电池、半导体等制造行业及科学研究领域。1真空泵：制造行业及科学研究领域核心通用装备真空泵是一类利用机械、物理、化学或物理化学方法对被

2、抽容器进行抽气，以达成真空状态的器件或设备。作为真空获得设备的主要类型，真空泵的核心功能是获得、优化和（或）维持真空环境；其技术的核心在于建立低于大气压力的物理环境，并为在此环境下开展的工艺制作、物理测量及科学试验等活动提供技术支撑。因此，其被广泛应用于化工、食品、家电、光伏、光学、锂电池、半导体等制造行业及科学研究领域。(divcenter)图1、真空泵行业产业链图谱(/divcenter)根据所获得的真空度水平，真空泵通常可将其划分为以下四档：按照工作原理的不同，真空泵可分为气体传输泵和气体捕集泵两大类。其中，气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，按分类方式分

3、为变容真空泵和动量真空泵。按常用技术形态划分，则可分为干式真空泵、湿式真空泵及蒸汽喷射真空泵。1.1干式真空泵：罗茨真空泵、螺杆真空泵、爪式真空泵罗茨真空泵：一般分为直排大气罗茨泵(低真空)、中真空罗茨泵(又称机械增压罗茨泵)以及高真空多级罗茨泵。在罗茨真空泵泵腔内，有1对8字形或三叶形的转子相互垂直地安装在1对平行轴上，由1对同步齿轮带动转子做同步反向旋转运动。在转子之间、转子与泵壳内壁之间保持一定间隙，可以实现高转速运行。螺杆真空泵：通过齿轮传动，驱动相互啮合且无接触的左右两根螺杆实现同步反向高速旋转，利用泵壳与螺旋结构将螺旋槽分隔为多级独立空间。气体在等螺距柱形槽内仅输送、无压缩，仅于螺

4、杆末端实现压缩，各级间压力梯度可分散压差并提升压缩比。由于螺杆真空泵的性能受间隙与转速影响较大，因此设计时需综合考量热膨胀、加工精度及含粉尘等工况环境。螺杆真空泵为高端制造行业市场的主流应用类型。在干式真空泵产品矩阵中，螺杆真空泵因在真空度、抽速、运行稳定性及能耗控制等核心性能指标上表现优异，已广泛应用于欧美日等发达经济体的微电子、半导体、制药、精密加工等高端制造领域，成为该类高要求场景下真空获得设备的主流应用类型。爪式真空泵：目前使用的型式较多。其中，卧式爪式真空泵一般为单级结构，泵组可获得的真空度不高，多用于形成粗真空；立式爪式真空泵一般为3级或4级压缩，可获得较高的真空度。立式爪式真空泵

5、采用泵腔逐级串联结构，各级泵腔内均设有一对共轭啮合、同步反向运转的爪型转子，转子之间及转子与泵壳均无接触；介质经转子吸入、压缩后逐级排出，其中第一级为吸气级，容积大于后续各级，可实现级间压缩。转子安装于两根平行轴上，由上下两端轴承支撑，泵腔级与级之间设有隔板并开设吸排气通道，设备通过同步齿轮传动并调整转子相位，以保证运行间隙稳定。干式真空泵更适用于真空度及清洁度要求高的场景。液环式真空泵与干式真空泵在结构、工作原理、系统组成及适用工况上均存在差异。液环式真空泵适用于气量大、真空度要求较低及抽吸介质纯度要求相对不高的工况，而干式真空泵则适用于小气量、高真空及介质清洁度要求高的工况。1.2湿式真空

6、泵：液环真空泵、旋转叶片真空泵液环真空泵具有结构简单易加工、紧凑高效、等温压缩、无金属磨损且密封简便、运行平稳易维修等优点，但同时也存在效率偏低、真空度受工作液限制以及封液易循环污染的缺点。旋转叶片真空泵：由一个偏心安装的转子、内置弹性叶片及泵体构成。转子旋转时，叶片在离心力作用下伸展滑动，与泵体内壁紧密贴合，形成多个密封工作腔；靠近入口的工作腔体积逐渐增加，产生负压，吸入流体；靠近出口的工作腔体积逐渐减小，压缩流体并将其排出。旋转叶片真空泵虽具有极限压力好、噪声小、应用范围广（真空度要求低的场景）等优点，但同时存在油封液污染、对腐蚀敏感、维修费用高、抽速范围受限等问题。因此，该类真空泵不适于