量测设备行业深度：寸辖制轮事得其要-230202（26页）.pdf

《量测设备行业深度：寸辖制轮事得其要-230202（26页）.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《量测设备行业深度：寸辖制轮事得其要-230202（26页）.pdf（26页珍藏版）》请在三个皮匠报告上搜索。

1、 寸辖制轮，事得其要 Table_Industry 量测设备行业深度 Table_ReportDate2023 年 2 月 2 日 请阅读最后一页免责声明及信息披露 http:/ 2 证券研究报告 行业研究 行业深度研究 电子电子 投资评级投资评级 看好看好 上次评级上次评级 看好看好 Table_Author 莫文宇 电子行业首席分析师 执业编号：S1500522090001 联系电话：13437172818 邮 箱： 信达证券股份有限公司 CINDA SECURITIES CO.,LTD 北 京 市 西 城 区 闹 市 口 大 街9号 院1号 楼 邮编：100031 量测设备行业深度：量测

2、设备行业深度：寸辖制轮，事得其要寸辖制轮，事得其要 Table_ReportDate 2023 年 2 月 2 日 本期内容提要本期内容提要:Table_Summary 量测量测/检测设备行业是不可多得的好赛道：长期高回报、空间检测设备行业是不可多得的好赛道：长期高回报、空间大大机会足机会足。根据 Gartner 数据统计，KLA 在量测/检测设备行业市场占比超 50%，是名副其实的行业龙头，该公司通过大举并购实现以过程控制设备为核心、相关良率管理服务配套的完整产品结构。近年来随着晶圆制造的精细发展，良率的提升成为了制造商着重关注的部分，KLA 也随之在近几年取得长足收益，与其他海外半导体设备

3、厂商相比，KLA 的整体表现已稳居前列，此类质量监测设备的高回报属性也在逐步显露。国内过程控制设备企业数量较少、产值较低，相较于其他晶圆生产设备，量测/检测设备难以实现有效产值匹配。以中芯国际为例，KLA 等欧美厂商是生产线上过程控制设备等主要提供方，量测/检测设备的国内发展空间仍旧很大。量测量测/检测设备贯穿晶圆制造全过程，国产需求迫在眉睫。检测设备贯穿晶圆制造全过程，国产需求迫在眉睫。量测/检测设备作为保证集成电路芯片生产线取得高成品率和高经济回报的关键性设备，在前后道工艺中均发挥了作用。在前道制造工艺中主要针对产品的关键参数进行测量，并发现其中存在的缺陷；在后道封装工艺中，针对芯片封装、

4、圆片级封装和硅通孔等关键技术的缺损及其参数的检查及测量，相较而言过程控制对前道工艺的意义更加显著。放眼国内过程控制设备企业，由于整体起步较晚，很少有企业可以实现质量监督全覆盖，但近年来随着国内产线的不断升级需要加之国际形势的日益严峻，量测/检测设备的国产需求急剧增加，国内企业的进一步发展迫在眉睫。依靠光学、电子束两大核心技术，依靠光学、电子束两大核心技术，赛道平台化赛道平台化前景广阔前景广阔。从技术层面来看，量测/检测设备的研发离不开光学与电子束的发展。其中光学技术的使用更加频繁，基本实现量测及检测设备的全面应用，电子束相对而言在检测设备及缺陷复查领域的应用更加广泛，二者由于各有优劣，在晶圆厂

5、的良率管理上基本均有搭配使用。具体到国内各企业而言，不同企业的深耕范围有所差异，目前仍未形成直接广泛的竞争关系。国内，精测电子精测电子在光学量测设备、晶圆缺陷检测设备以及电子束设备方面均有布局，进展国内领先；中科飞测中科飞测在集成电路、先进封装领域的光学检测、量测领域积累深厚；上海睿励上海睿励主要从事光学技术层面的设备开发；赛腾股份赛腾股份通过收购日本 OPTIMA 进军半导体量测设备领域；东方晶源东方晶源在电子束缺陷检测设备上造诣颇深。建议关注建议关注：精测电子、中科飞测、赛腾股份 风险因素：风险因素：技术研发进度不及预期；晶圆厂扩产进度不及预期；地缘政治风险。XXjYpWjXoZaXxPy

6、QaQbP6MpNoOoMmPkPoOmOiNpPpR9PpOoOwMmPsMxNtOtP 请阅读最后一页免责声明及信息披露 http:/ 3 目 录 量测/检测设备行业：长期高回报、空间机会足.4 回顾 KLA 46 年发展历程，内生外延打造全球龙头.4 量测/检测设备行业空间广阔，行业发展潜力足.9 量测/检测设备贯穿晶圆制造全过程，国产需求迫在眉睫.10 各类检测/量测设备技术同源性、通用性强，龙头值得长期看好.13 突破封锁形势严峻，量测/检测设备国产化成为必经之路.18 国内量测/检测设备企业同步发力，国产化替代踏上征程.20 精测电子：基本实现量测设备全面布局，深耕技术自研.20