半导体设备深度：从招标数据看半导体设备国产化现状-220719（48页）.pdf

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1、 证券研究报告证券研究报告 请务必阅读正文之后第请务必阅读正文之后第 47 页页起起的免责条款和声明的免责条款和声明 从招标从招标数据数据看半导体设备国产化看半导体设备国产化现状现状 电子行业半导体设备深度专题2022.7.19 中信证券研究部中信证券研究部 核心观点核心观点 徐涛徐涛 科技产业联席首席分析师 S1010517080003 张若海张若海 数据科技首席 分析师 S1010516090001 王子源王子源 半导体分析师 S1010521090002 我们通过统计部分典型晶圆厂的历史招标数据，分析半导体设备各细分市场的我们通过统计部分典型晶圆厂的历史招标数据，分析半导体设备各细分市场

2、的国产化现状和国产厂商竞争格局。据我们测算，选取范围内的三座典型晶圆厂国产化现状和国产厂商竞争格局。据我们测算，选取范围内的三座典型晶圆厂设备国产化率总体在设备国产化率总体在 17%左右左右，随供应链本土化趋势的发展，未来国产化率有，随供应链本土化趋势的发展，未来国产化率有望实现阶跃式提升。望实现阶跃式提升。在行业景气持续、国产替代深入背景下，半导体设备公司在行业景气持续、国产替代深入背景下，半导体设备公司持续有业绩支撑。建议优先选择赛道空间大、产品布局全面、技术实力较强的持续有业绩支撑。建议优先选择赛道空间大、产品布局全面、技术实力较强的龙头设备厂商，以及份额尚低、受益国产替代有望快速成长的

3、细分赛道成长型龙头设备厂商，以及份额尚低、受益国产替代有望快速成长的细分赛道成长型企业企业。2021 年全球半导体设备市场年全球半导体设备市场规模规模首破千亿美元，中国大陆占约首破千亿美元，中国大陆占约 29%，达到全球达到全球第一，下游扩产持续拉动设备需求。第一，下游扩产持续拉动设备需求。根据 SEMI 报告，2021 年全球半导体制造设备销售额同比增加 44%达到 1026 亿美元的历史新高，预计到 2022 年将扩大到 1140 亿美元。2021 年中国大陆半导体设备市场销售额增长 58%，达到 296亿美元，占全球市场约 28.9%，由于晶圆厂扩产加速，国内市场增速显著高于全球。我们预

4、计后续中芯国际、合肥长鑫、华虹集团、长江存储等国内主流晶圆厂均为扩产主力，多个新厂区项目将继续拉动国内设备市场需求。设备国别比较：设备国别比较：设备国产替代加速。设备国产替代加速。从行业格局来看，美日欧厂商在半导体设备领域具备传统优势，占据半导体设备全球前 15 名席位。据我们测算，2021年中国中国大陆厂商营收体量在全球市场占比仅大陆厂商营收体量在全球市场占比仅约约 2.5%。从我们选取的长江存储、华力集成、华虹无锡三座典型晶圆厂招投标数据来看，美国设备厂商份额在 45成，日本厂商份额 3 成左右，国产份额 2 成左右，国产设备份额呈现明显上升趋势。设备设备国产化率：据我们测算，国产化率：据

5、我们测算，2016-2022 年年（截至（截至 7 月月 4 日）日）三座典型晶圆厂三座典型晶圆厂累计采购设备国产化率总体在累计采购设备国产化率总体在 17%左右（按照设备台数占比，下同）左右（按照设备台数占比，下同），其中长江存储、华虹无锡、华力集成设备国产化率分别为 18%、18%、13%。横向对比而言，长江存储在设备国产化方面较为积极，部分原因是 IDM 模式的设备选择自主性相对高于晶圆厂代工厂；华虹无锡与华力集成同属于华虹集团，华虹无锡各类型设备国产化率大多高于华力集成，或主要由于华虹无锡 90nm55nm的成熟制程相较于华力集成相对先进的 2814nm 制程更易于推进设备国产化。各细

6、分市场格局：我们测算部分领域国产化率可达到各细分市场格局：我们测算部分领域国产化率可达到 20%以上，部分国产化率以上，部分国产化率尚低。尚低。基于三座晶圆厂招投标数据，我们对 2016-2022 年累计采购设备的各细分市场格局进行了梳理，其中，（1）去胶：国产化率约 74%（据我们测算，下同），屹唐股份、盛美上海等位于国内前列；（2）清洗设备：国产化率约 38%，盛美上海设备中标数量仅次于日本迪恩士，至纯科技、北方华创、芯源微等亦为国产替代主力，各家产品类型有所区别；（3）氧化扩散/热处理设备：国产化率约 28%，北方华创、屹唐股份、盛美上海中标设备数量靠前；（4）刻蚀设备：国产化率约 22