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半导体行业深度报告:半导体刻蚀机研究框架-210820(109页).pdf

上传人: 半声 编号:49728 2021-08-23 109页 4.70MB

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本文主要分析了半导体刻蚀机行业的发展现状和未来趋势。 1. 终端应用多样化+硅含量提升,推动全球半导体设备需求增长,预计5G时代全球晶圆制造设备(WFE)市场将达到850亿美元量级。 2. 刻蚀作为晶圆前道生产工艺中最重要的三类设备之一,价值量占比达到25%。未来5年,全球刻蚀设备市场有望实现5%的复合年增速,预计2025年市场规模将达到155亿美元。 3. 材料和工艺的持续变革,以及下游扩产和国产替代,为国产厂商带来黄金发展期。目前国产厂商在国内半导体设备市场上的逐渐表现出亮眼成绩,国产化率处亍较高水平。 4. 刻蚀设备市场版图显示,2020年市场规模前三为刻蚀机、DUV、PVD;2025年市场规模前三为EUV、刻蚀机、PVD;成长率前三为ALD、EUV、ALE。 5. 刻蚀技术在集成电路制造工艺中应用广泛,包括浅槽隔离刻蚀、栅极刻蚀、栅侧墙刻蚀、硅凹槽刻蚀等。刻蚀设备主要包括等离子体刻蚀装置、反应离子刻蚀装置等。
半导体刻蚀机市场前景如何? 国产半导体刻蚀机发展现状如何? 刻蚀机技术发展趋势是什么?
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