图表5、离子注入机市场主要参与者-行业数据

从全球市场看，2019 年全球离子注入机市场规模约 18 亿美金，海外厂商仍处于垄断地位，国产化率很低。根据 SEMI 数据显示，离子注入机市场规模由 2013 年的 8.1 亿美金增长至 2019 年的 18 亿美金，年复合增速 14%。其中，国外厂家占据了大量的市场份额。尤其是在技术含量较高的集成电路领域，美国的两家龙头厂商 AMAT、Axcelis 在 IC 离子注入机市场占有率分别为 70%、20%，其他厂商仅占 10%；日本日新在 AMOLED 离子注入机市场处于垄断地位；仅在光伏离子注入机方面，我国离子注入机排名相对靠前，2017 年凯世通的光伏离子注入机销量 15 台，市占率列全球第一。