离子注入机在集成电路产业链中的作用在于改变载流子浓度和导电类型-行业数据

离子注入机在集成电路产业链中的作用在于改变载流子浓度和导电类型

离子注入机在集成电路产业链中的作用在于改变载流子浓度和导电类型

离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备之一。在集成电路产业中，离子注入机是通过对半导体材料表面进行某种元素的离子注入掺杂，从而改变半导体载流子浓度和导电类型的掺杂工艺制程，目前在集成电路制造中被广泛应用。据Gartner 统计，在晶圆制造工艺设备市场中，IC 离子注入机价值量占比为 2.5%-3.3%。

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【公司研究】万业企业-公司首次覆盖报告：地产企业外延并购向集成电路高质量转型-20210105（19页）.pdf

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