万业企业-并购转型助力打造中国芯离子注入国产替代迎佳机-210726（27页）.pdf

1、被美国公司垄断的 IC 离子注入机在如今特殊背景下正亟待走向国产化。美国东部时间 2019 年 10 月 7 日，美国商务部以国家安全等理由出台美国出口管制“实体名单“，限制列入实体名单的中国机构及公司从美国购买设备和零部件。该名单仍在持续更新中，半导体产业代表着高新科技同时占据着未来发展的巨大市场，相关公司和机构也是美国实体名单的重点关注对象。例如，2020 年 12 月 18 日，美国商务部更新美国出口管制”实体名单“，中芯国际及其 10 个相关子公司被纳入实体清单。与此同时，美国仍在加强半导体领域的投资，2021 年 5 月 28 日，美国参议院进一步推动了加强美国技术研发、创新的法案，

2、该法案总金额达 1900 亿美元，其中包括了对芯片相关行业 520 亿美元的投资。为了避免被美方”卡脖子“，离子注入机与光刻机、刻蚀机等集成电路制造前道设备均亟待迈向国产化。 在中美持续对弈、中方政策高度重视、国有基金资金助力的情况下，我们有理由相信离子注入机的国产化进程正在加速到来。由于离子注入机在集成电路制造前道设备中的不可替代性和目前被美日龙头企业垄断的市场现状，我国在政策上对离子注入机重视程度较高，在多项政策中将离子注入机的研发列为战略发展目标。大基金二期有望助力设备与材料企业进一步发展。集成电路产业投资基金（国家大基金）一期设立于 2014年 10 月 14 日，总投资 1

3、387 亿，带动社会投资约 5000 亿，投资方向侧重于集成电路芯片制造业，兼顾芯片设计，封装测试设备和材料等产业。2018 年，大基金一期已入股国产离子注入机生产商凯世通的母公司万业企业。2019 年，国家大基金二期成立，注册资本超 2000 亿元，预计带动社会投资约 6000 亿。国家大基金总裁丁文武曾发表讲话，二期基金将对装备材料业，例如刻蚀机、薄膜设备、测试设备和清洗设备等领域给予重点支持，因此，国家大基金二期对于装备材料生产商的支持将带来更多的发展机会。国产离子注入机替代空间大，远期可达 450 亿市场规模。根据集微网统计，2020 年，国内共计 8 英寸产能74.0 万片/月，12

4、 英寸产能 38.9 万片/月，折合 8 英寸后共计产能 161.5 万片/月。根据各公司公开披露数据显示，2021 年全国各大晶圆厂预计新增 8 英寸产能 16.6 万片/月，新增 12 英寸产能 21.2 万片/月。远期规划 8 英寸产能实现 135 万片/月，12 英寸产能实现 145.4 万片/月。根据离子注入设备产率和工艺注入量的不同，预计成熟制程产线每万片/月需要约 4 台大束流离子注入机，先进制程产线每万片/月需要约 8 台大束流离子注入机。12 英寸逻辑芯片的每万片/月产能则可能需采购 12-15台离子注入机，其中 60%为低能大束流设备、20%为中束流设备、20%为高能设备。

5、根据上述情况，我们假设未来平均每万片/月 8 英寸晶圆产线需要 6 台离子注入机，12 英寸晶圆产线需要 10 台离子注入机。单台低能大束流离子注入机平均价格为 3000 万元，中束流离子注入机平均价格为 2000 万元，高能离子注入机平均价格为 5000 万元。根据集微网统计的远期总目标产能，基于上述不同产线对应不同类型的离子注入机数量和价格，在不考虑晶圆厂的实际扩产进度或完成时间，只考虑远期目标达成的情况下，我们对离子注入机的国内市场空间做了如下测算。预计未来 8 英寸产线需要新增 61 万片/月产能，对应 366 台设备，假设平均单价为 3000 万元，则对应 109.8 亿元市场空间。预计 12 英寸产线需要新增 106.5 万片/月产能，对应 1065 台设备，假设平均单价为 3000*60%+2000*20%+5000*20%=3200 万元，则对应 340.8 亿元。加总后我们预计国内离子注入机的远期市场空间高达 450.6 亿元。