AI新材料行业动态研究之光刻胶：AI服务器带动EUV光刻胶需求关注高端光刻胶国产化机遇-260611（5页）.pdf

1、国海证券研究所请务必阅读正文后免责条款部分2026 年年 06 月月 11 日日行业研究行业研究评级：推荐评级：推荐(维持维持)研究所：证券分析师：董伯骏S证券分析师：王鹏STable_TitleAI 服务器带动服务器带动 EUV 光刻胶需求光刻胶需求，关注高端光刻关注高端光刻胶国产化机遇胶国产化机遇AI 新材料新材料动态研究之动态研究之光刻胶光刻胶最近一年走势行业相对表现2026/06/11表现1M3M12M基础化工-8.5%-12.3%31.1%沪深 300-4.6%0.4%21.3%相关报告新材料产业周报：长征十二号乙运载火箭首飞任务取得圆满成功（推荐）*基础化工*董伯骏，杨仁文，王鹏2

2、026-06-08新材料产业周报：华为正式发表韬（）定律，SEMI 预测玻璃核心基板将实现高速增长（推荐）*基础化工*董伯骏，杨仁文，王鹏 2026-05-31新材料产业周报：朱雀二号改进型遥五运载火箭发射成功（推荐）*基础化工*董伯骏，杨仁文，王鹏2026-05-18新材料产业周报：IDC 预测 2026 年全球半导体收入大幅增长（推荐）*基础化工*董伯骏，杨仁文，王鹏2026-05-11新材料产业周报：英特尔宣布协同特斯拉、SpaceX、xAI 加入巨型晶圆厂 Terafab 计划（推荐）*基础化工*董伯骏，杨仁文，王鹏 2026-04-12投资要点投资要点:MOR 是下一代是下一代 EU

3、V 光刻胶最有希望的技术路线之一，光刻胶龙光刻胶最有希望的技术路线之一，光刻胶龙头头JSR 加速布局加速布局5 月 5 日，据日本经济新闻报道，JSR 正计划在中国台湾建设一座光刻胶工厂，为台积电供货，并向其推广 MOR 光刻胶产品。JSR 正筹备数千万美元规模的投资，目标最早于 2028 年投产，在推进中国台湾布局之前，JSR 一直重点强化其在韩国的业务，目前公司正在建设一座新工厂，计划于 2026 年投产，届时将为三星电子和 SK 海力士生产锡基 MOR 光刻胶。日本企业合计占据全球约 80%的光刻胶供应份额。JSR 是全球第二大光刻胶供应商，2025 年按销售额计算市场份额约为 19%，

4、全球前三大光刻胶企业中的另外两家 TOK和信越化学均已在中国台湾设有生产基地。5 月 27 日，JSR/Inpria 宣布与美国半导体材料公司 Entegris 达成专利交叉授权合作，将 Inpria 在金属氧化物（Metal Oxide Resist，MOR）光刻胶领域的技术能力与 Entegris 在纯化和材料输送方面的技术结合，共同推进下一代 EUV 光刻胶技术。合作范围包括开发下一代 MOR 光刻胶体系，提高 EUV 曝光性能；针对 MOR 光刻胶所需前驱体材料进行联合研发；MOR 专用超洁净过滤技术。EUV 竞争已经从单一光刻胶竞争，升级为光刻胶+前驱体+过滤+输送系统的整体解决方案

5、竞争。根据 TECHCET 发布2025-2026 年光刻关键材料报告，未来 5 年全球光刻材料市场规模将以 5.7%的复合年增长率增长，到 2029 年市场规模将超过 63.5 亿美元，主要受益于晶圆开工量提升以及先进制程节点光刻层数增加。2025 年，EUV 光刻胶预计增长显著，增速达到 38%。随着三星电子、英特尔、台积电、SK 海力士和美光科技持续扩大 EUV 光刻技术的应用，同时逻辑芯片向 GAA 工艺节点演进，以及 DRAM 开始导入 1 至 3 层 EUV 光刻工艺，EUV 光刻胶市场将保持高速增长。AI 助力国产高端光刻胶快速迭代，光刻胶配套标准体系逐步健全助力国产高端光刻胶快

6、速迭代，光刻胶配套标准体系逐步健全5 月 12 日，上海人工智能实验室发布消息，依托 2030 新一代人工智能国家科技重大专项总体部署，上海人工智能实验室（上海 AI 实验室）联 1900788证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分2合厦门大学、苏州国家实验室等合作单位基于“书生”科学大模型与“书生”科学发现平台，构建了“AI 决策+自动化合成”的闭环研发体系，实现了高纯度、高一致性、高效率的 KrF 光刻胶树脂创制。这一突破使高端光刻胶树脂的稳定制备不再依赖于极少数国外供应商的“黑箱能力”，为全球芯片材料领域探索出一条可标准化、快速迭代的新路径。其中，恒坤新材基于光刻胶配方开发经验，完成了