1、一、行业概述1、洁净室概念洁净技术是为适应实验研究与产品加工的精密化、微型化、高纯度等要求而诞生的技术，核心目的在特定的空间内，排除空气中的微粒、微生物及其他污染物，并将温度、湿度、压力、静电等参数控制在工艺要求的范围内，该空间便是洁净室，也称为洁净厂房、无尘车间或无尘室。控制洁净室空气成分主要有3个关键步骤：1）控制污染源，减少污染发生量；2）迅速稀释或排出室内已经发生的污染；3）阻止室外的污染侵入。第1点和第3点都可以通过封闭性和化学设备等解决，而核心的第2点则需要利用流体力学原理制造气流组织（层流、乱流或混合流），其中AHU（组合式空调箱）、FFU（风机过滤单元）是其洁净功能实现的核心部

2、件之一。洁净室工程服务商所提供的洁净室系统集成包括洁净室相关的空气处理系统、气流风路系统、水处理系统、内装系统、减振系统、静电控制系统、电磁干扰控制系统、制程系统、环境检测系统、电力系统、消防安全系统和其他洁净室相关系统。(divcenter)图表1：电子洁净室示意图(/divcenter)2、洁净室分类根据不同工作条件所需建设的洁净室在控制对象和标准上存在差异。洁净室一般分为工业洁净室以及生物洁净室，其中工业洁净室主要适用于IC半导体、光伏、光电、宇航、原子能等行业，而生物洁净室则适用于制药工业、医院（手术室、无菌病房）、食品饮料生产、动物实验室、理化检验室、血站等。两种洁净室的差异主要体现

3、在控制对象分别为无生命微粒（空气尘埃微粒、悬浮气体分子）和生命微粒（细菌、微生物）上。综合看洁净室下游应用较为广泛，受益于多领域投资。3、洁净室洁净度划分洁净等级每提高一级，洁净度提升十倍。洁净技术的核心在于有效控制室内空气中悬浮颗粒物的引入、产生与滞留。所需控制的颗粒物粒径范围，通常取决于所生产产品的精密度要求。随着工业产品不断向微型化、高精度方向发展，洁净室对微粒的控制标准也日益严格。以芯片制造为例，随着制程工艺的持续微缩，其对空气中受控微粒的粒径要求已从早期的0.3substack-0.5mumathrmm提升至纳米级别甚至更小。目前，洁净工程领域普遍采用由国际标准化组织（ISO）制定的

4、ISO14644标准。该标准将空气洁净度划分为ISO1至ISO9共九个等级，每提高一个等级，洁净度提升10倍，即允许的微粒数量减少至上一等级的十分之一。不同行业对洁净度的要求不同，一般来说，芯片制造和显示器件制造对生产环境洁净度要求较高，其次是光伏组件、LED照明产品制造；医疗、医药等对操作空间生物菌落控制需求较多；食品、化妆品、石化等领域对操作间洁净度有一定要求，但要求相对较低。电子半导体洁净室的建设难点在于微粒粒径控制要求较高。芯片的特征尺寸（线宽）已经从21世纪初的mathbf0.1mumathrmm左右，发展到现今的0.01mumathrmm以内，根据实践经验，当前洁净室的控制尘粒粒径

5、与线宽（制程）的关系通常为1:2，即_28mathrmnm工艺大致需要控制粒径大于等于14nm的微粒。芯片制造的核心生产环境（光刻、半导体加工）洁净度等级需要达到IOS1-2级，控制粒径10-100nm甚至更小。生物医药洁净室的建设难点在于对有机微粒污染的控制要求较高。药品和生物制品的生产过程对环境洁净度的要求较高，一些药品在制造过程中受到微生物、尘粒等污染或交叉污染，可能导致对药品质量的危害和严重后果，其中青霉素类等高致敏性药、某些激素类药品、细胞毒性类药品、高活性化学药品等引起的污染最危险。以无菌药品洁净室为例，按空气洁净度分为A、B、C、D四个等级，相当于国际标准的ISO5-9级，无菌溶

6、剂的配置通常需要在C级环境中进行，非肠道药物的灌装应在C级环境中的单向流净化工作台（A级）下进行。4、洁净室选址与布局：选址和布局规划要求严苛选址：洁净厂房工厂应选址在大气含尘浓度较低的地区，例如农村、远郊、水滨等，不宜在气候干旱、多风沙、有严重空气污染的工业区。同时，厂区选址需要考虑防微振、防噪声等因素，通常需要远离铁路、公路干道、码头、机场，避开断层、流砂等地质构造。因此，洁净厂房工程对前期选址勘探、规划设计有更为严苛的要求。布局：洁净厂房工厂厂址确定后，在总平面布置上也需要系统处理好洁净厂房与非洁净厂房和各种可能的污染源之间的相对位置，同时合理分流人流、物流、车流。洁净厂区周围的道路需要