至纯科技-低估的半导体清洗设备龙头布局零部件和服务业务寻求新增长点-220915（30页）.pdf

1、证券研究报告公司深度研究半导体 东吴证券研究所东吴证券研究所 1/30 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 至纯科技（603690）低估的半导体低估的半导体清洗设备龙头，清洗设备龙头，布局布局零部件和零部件和服务服务业务寻求新增长点业务寻求新增长点 2022 年年 09 月月 15 日日 证券分析师证券分析师 周尔双周尔双 执业证书：S0600515110002 021-60199784 证券分析师证券分析师 黄瑞连黄瑞连 执业证书：S0600520080001 股价走势股价走势 市场数据市场数据 收盘价(元)40.34 一年最低/最高价 26.66/65.00

2、市净率(倍)3.10 流通 A 股市值(百万元)12,822.61 总市值(百万元)12,890.67 基础数据基础数据 每股净资产(元,LF)13.00 资产负债率(%,LF)48.80 总股本(百万股)319.55 流通 A 股(百万股)317.86 相关研究相关研究 至纯科技(603690)：2022 年中报点评：半导体清洗设备放量带动收入端稳健增长，扣非净利率显著提升 2022-08-31 至纯科技(603690)：2021 年报&2022 年一季报点评：半导体湿法设备加速放量，收入端实现高速增长 2022-05-01 买入（维持）Table_EPS 盈利预测与估值盈利预测与估值 20

3、21A 2022E 2023E 2024E 营业总收入（百万元）2,084 3,026 3,928 5,002 同比 49%45%30%27%归属母公司净利润（百万元）282 381 557 742 同比 8%35%46%33%每股收益-最新股本摊薄（元/股）0.88 1.19 1.74 2.32 P/E（现价&最新股本摊薄）46.50 34.42 23.50 17.66 Table_Summary 投资要点投资要点 国内高纯工艺系统龙头，半导体设备成为新增长点国内高纯工艺系统龙头，半导体设备成为新增长点 公司主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备，覆盖中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客

4、户资源，业绩持续快速增长。1）收入端：）收入端：2015-2021 年营业收入 CAGR为 47%，2021 年达到 20.84 亿元，同比+49%。2020 年以来半导体清洗设备快速放量，2021-2022H1 分别实现收入 7.01 和 4.66 亿元，分别同比+222%和+73%，2022H1 收入占比达到 42%，成为收入端增长重要驱动力。2）利润端：）利润端：2015-2021 年归母净利润 CAGR达到 59%，高于收入端。2022H1 为 0.81 亿元，同比-46%，主要系非经常性损益影响，2022H1 扣非归母净利润达到 0.97 亿元，同比+128%，大幅提升。2022H1

5、 公司新增订公司新增订单单 23.62 亿元，同比亿元，同比+37%，其中半导体制程设备新增订单，其中半导体制程设备新增订单 8.06 亿元，充足订单支撑亿元，充足订单支撑下，下，2022 年业绩有望延续快速增长。年业绩有望延续快速增长。半导体清洗设备：半导体清洗设备：进口替代加速进口替代加速，公司，公司市场份额有望持续提升市场份额有望持续提升 晶圆产能东移背景下，仅华虹集团、中芯国际、长江存储、合肥长鑫四家晶圆厂晶圆产能东移背景下，仅华虹集团、中芯国际、长江存储、合肥长鑫四家晶圆厂未来合计扩产产能将过未来合计扩产产能将过 100 万片万片/月，本土半导体设备行业景气度有望延续。月，本土半导体

6、设备行业景气度有望延续。1）受益于晶圆产能东移，我们判断 2021 和 2023 年中国大陆半导体清洗设备市场规模分别为15 和 21 亿美元，其中单片清洗设备需求约 10.0 和 14.3 亿美元。2）全球清洗设备市场仍由日企主导，盛美、至纯等已实现国产替代突破，我们预估 2019-2021 年公司在本土市场份额分别为 2%、4%、7%，正在快速提升。据据 2021 年年报披露年年报披露，公司半导体清洗公司半导体清洗设备已在设备已在 28 纳米节点获得全部工艺的设备订单，在纳米节点获得全部工艺的设备订单，在 14 纳米以下制程也拿到纳米以下制程也拿到 4 台湿台湿法设备订单法设备订单。202