中科飞测-公司研究报告-大陆量检测设备领军者持续提升产品广度+深度-230517（35页）.pdf

1、请务必阅读正文之后的重要声明部分请务必阅读正文之后的重要声明部分 评级评级：买入（首次覆盖）：买入（首次覆盖）市场价格：市场价格：23.6023.60 元元 分析师：王芳分析师：王芳 执业证书编号：执业证书编号：S0740521120002 Email： 分析师：杨旭分析师：杨旭 执业证书编号：执业证书编号：S0740521120001 Email： 分析师：游凡分析师：游凡 执业证书编号：执业证书编号：S0740522120002 Email： 基本状况基本状况 总股本(百万股)320 流通股本(百万股)288 市价(元)23.60 市值(百万元)7,552 流通市值(百万元)6,797 股

2、价与行业股价与行业-市场走势对比市场走势对比 相关报告相关报告 公司盈利预测及估值公司盈利预测及估值 指标 2021A 2022A 2023E 2024E 2025E 营业收入（百万元）361 509 766 1,144 1,625 增长率 yoy%52%41%50%49%42%净利润（百万元）53 12 30 96 193 增长率 yoy%35%-78%158%216%101%每股收益（元）0.17 0.04 0.09 0.30 0.60 每股现金流量-0.31 0.21 0.75 0.08 0.35 净资产收益率 10%2%5%14%24%P/E 141.4 643.1 248.8 78.

3、7 39.1 P/B 13.6 13.3 12.0 11.4 9.5 备注：每股指标按照最新股本数全面摊薄 报告摘要报告摘要 中科飞测专注于高端量检测设备，中科飞测专注于高端量检测设备，产品产品种类丰富。种类丰富。中科飞测主营产品为检测和量测两大类半导体专业设备，自 2014 年成立以来，陆续突破多项量检测设备。1）从产品种）从产品种类来看类来看：目前公司已形成 6 大产品系列，分别是图形晶圆缺陷检测设备、3D 曲面玻璃量测设备、三维形貌量测设备、无图形晶圆检测设备、套刻精度量测设备和薄膜膜厚量测设备，对应的量检测设备市场空间占比为 27.2%，同时公司正在研发纳米图形晶圆缺陷检测设备、晶圆金

4、属薄膜量测设备等。2）从产品工艺节点来看）从产品工艺节点来看：公司已量产多款 28nm 及以上量检测设备，2Xnm 套刻精度量测设备正在验证，已取得客户订单，1Xnm 无图形晶圆检测设备处于研发中，处于国内领先地位。大陆大陆量检测设备市场规模量检测设备市场规模超超 25 亿亿美元美元，设备技术壁垒高，海外厂商具有先发优势，设备技术壁垒高，海外厂商具有先发优势，大，大陆自给率不足陆自给率不足 3%。1）市场规模市场规模：大陆是半导体量检测设备的第一大市场，受益于下游晶圆厂大幅度扩产，量检测设备市场仍在迅速扩张中。VLSI Research 数据显示，2021 年中国大陆半导体检测与量测设备的市场

5、规模为 25 亿美元，2016-2021 年 CAGA为 29.3%，超过了全球市场的增长率。2）技术壁垒技术壁垒：为提高检测精度与检测效率，对设备硬件端的要求越来越高，设备的光源波长不断缩短、物镜数值孔径不断增加、工件台速度不断提升，均需要厂商有较长时间的技术积累。此外，对大数据检测算法的要求也在提升，而算法需要较长时间的数据训练。3）竞争格局竞争格局：目前大陆量检测设备市场被美日公司垄断，其中 KLA 一马当先，占比超 50%，大陆国产化率不足 3%。随着大陆半导体产业重视程度的提升，大陆厂商正奋起直追，有望乘上国产替代之风。公司持续提升产品广度与深度，部分产品性能对标海外龙头公司持续提升

6、产品广度与深度，部分产品性能对标海外龙头。1）布局布局多款产品多款产品，有望有望进一步打开市场空间进一步打开市场空间。公司已推出的设备对应的市场规模占量检测设备总市场规模的27.2%。正在研发多款新产品，待产品研发成功后，公司产品将进一步打开市场空间，所对应的市场规模占比将达到 62.6%。2）细分产品领域填补大陆空白，性能对标海外细分产品领域填补大陆空白，性能对标海外龙头龙头。中科飞测攻克了 20-14nm 产线晶圆缺陷在线光学检测设备多项核心技术并研发了无图形晶圆缺陷检测设备 S2，该设备已部分取代 KLA 半导体的 Surfscan SP3 产品。此外针对集成电路前道制程，公司自主创新生