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三维芯片集成(2.5D/3DIC)技术方案的分类及结构特征
三维芯片集成(2.5D/3DIC)技术方案的分类及结构特征
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2.5D封装指通过转接板实现多颗芯片的高密度水平互联,并集成制造到单个芯片系统中的先进封装技术。根据转接板的类型,2.5D 可进一步分为基于硅通孔转接板(“硅转接板”)、基于扇出型重布线层(“有机转接板”)和基于嵌入式硅桥(“硅桥转接板”)三类。3D集成(3DIC)指通过微凸块或混合键合等方式实现多颗芯片的高密度垂直互联,并集成制造到单个芯片系统中的先进封装技术;根据芯片类型是否一致,3DIC可进一步分为 3D同质集成和 3D异质集成。
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