至纯科技：至纯科技投资者关系活动纪要.docx

1、证券代码： 603690 证券简称：至纯科技上海至纯洁净系统科技股份有限公司投资者关系活动记录表 投资者关系活动类别 特定对象调研 分析师会议 媒体采访 业绩说明会 新闻发布会 路演活动 现场参观 券商策略会 其他 （请文字说明其他活动内容）参与机构博时基金、香港富达基金、人保资产、太平资产、亚太财险、财通资管、天弘基金、浙商证券、开源证券民生证券策略会、开源证券策略会、浙商证券策略会、中邮证券策略会、天风证券策略会时间2023年7-9月（非窗口期，共11场）地点现场会议、线上业绩说明会上市公司接待人员姓名董事长兼总经理蒋渊，集团副总兼董秘陆磊，董秘特助任慕华，证代张娟投资者关系活动主要内容介

2、绍一、 公司近期情况简介公司2023半年度实现营收14.8亿元，同比增长32.13%；归母净利润1.09亿元，同比增长33.67%；截至2023年6月底，新增订单32.66亿元，同比增长38.28%；新增订单中73.65%为半导体行业，其余为泛半导体和生物医药行业；截至2023年6月底，在手订单53.23亿元。二、 交流的主要问题及回复概要1、 请问公司湿法设备目前进展如何？答：公司湿法设备应用于成熟制程的产品线拓展有序，在部分逻辑用户和第三代半导体用户的产线渗透率持续提高。应用于先进制程的高阶产品线，在订单获取的进度上受到用户扩产进度影响有延后，但在高温硫酸、FIN ETCH、单片磷酸等尚被

3、国际厂商垄断的机台，公司交付和验证进度都在国内领先。2、 请问公司湿法清洗设备有没有跟动研发更先进产品？答：公司一直跟动客户进行研发制造，目前湿法设备在28纳米节点已经全覆盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点也已取得部分工艺订单。单片硫酸设备为湿法设备中难度最高的工艺机台，公司S300 SPM机台已交付给多家国内主流晶圆厂，并已经应用于国内头部客户的12英寸逻辑量产线，月产能最高可达6万片次以上。单设备在用户量产线上的累计产量已超过20万片次，是为高阶湿法设备国产替代进口的重要里程碑。目前公司是国内单片硫酸设备达到上述单机台量产指标的唯一厂商。3、 请问贵司是否具备7nm芯片先进制程流程

4、中的设备，最近国产5g芯片的推出，是否会加速贵司先进制程设备的国内市场普及？答：公司湿法清洗设备可覆盖28纳米全工艺工序段并有重复订单，在14及7纳米制程也有数台订单交付客户。随着下游客户在先进制程中的进一步发展，公司在先进制程中的重点产品将有望放量。4、 请问贵司在半导体材料领域的布局有哪些?是否已经具备商业能力？答：公司从系统集成延伸至盈利能力更强的材料端，2022年初建成国内第一座电子级大宗气供应工厂，目前已稳定运行一年多，每年可贡献稳定的营收，这是国内完全自主建设的第一座ONSITE大宗气供应工厂，公司继续会在电子气电子化学品方面拓展业务及品类，增加电子材料端的业务投入。5、 请问定增

5、的三大项目，继续实施的有哪些项目？公司大概何时才能释放百亿订单的产能？答：公司对于跟动下游先进制程的研发与制造的项目仍然会继续实施，对现有产能的扩产会延缓进行。公司目前产能提升已完成，订单放量根据下游客户产线建设节奏而定。6、 想了解一下跟华为合作的具体情况答：国内头部客户与公司均有合作，包括您提到的客户，我们主要提供系统集成业务和制程设备机台。7、 贵司是否参与到华为国产5g芯片的研发、合作？答：公司一直跟动下游客户进行研发、制造，在半导体先进制程阶段公司也已有部分重点产品。公司湿法清洗设备可覆盖28纳米全工艺工序段并有重复订单，在14及7纳米制程也有数台订单交付客户，公司在湿法清洗领域可实

6、现国产替代。8、 对于贵司子公司波汇科技未来的规划是怎么样的？波汇科技的业绩一直不如人意，是否会进行转型？波汇科技在光通信模块领域的技术储备有哪些？答：波汇科技主要从事光传感器及光电子元器件的研发、生产及销售。其中所从事的光传感器业务主要为光纤传感器，为光传感器市场的细分领域，主要应用于电力、石油管路、智慧城市等领域；所从事的滤光片、激光管帽等电子元器件主要应用于光通信领域。波汇科技业务稳定，未来将继续耕耘其主营业务。9、 刚刚在说明会的资料中有提到，贵司在N+2的工艺节点已经实现了技术覆盖，另外在后段有机物清洗，单片磷酸，晶圆边缘刻蚀和FIN刻蚀后清洗